[發明專利]一種多晶硅鑄錠用涂層石英坩堝無效
| 申請號： | 201010264305.5 | 申請日： | 2010-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN102373503A | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發明（設計）人： | 池金林;楊業林 | 申請（專利權）人： | 揚州華爾光電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10;C30B29/06;F27B14/10 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐激波 |
| 地址： | 225600*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 鑄錠 涂層 石英 坩堝 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅鑄錠用涂層石英坩堝，其特征在于：包括氣泡復合層(1)、真空層(2)和涂層(3)，所述石英坩堝的內壁上設置有氣泡復合層(1)，氣泡復合層(1)上設置有真空層(2)，真空層(2)上設置有氫氧化鋇涂層(3)。
2.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠用涂層石英坩堝，其特征在于：所述氫氧化鋇涂層(3)的厚度為10μm。
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