[發明專利]光子篩相襯物鏡、制造方法及成像方法有效
| 申請號： | 201010263339.2 | 申請日： | 2010-08-25 |
| 公開（公告）號： | CN102004276A | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發明（設計）人： | 程冠曉;胡超 | 申請（專利權）人： | 中國科學院深圳先進技術研究院 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;G02B27/42;G21K7/00 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 吳平 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光子 篩相襯 物鏡 制造 方法 成像 | ||
1.一種光子篩相襯物鏡，其特征在于，包括由基底和設于所述基底上的多個透光孔所形成的光子篩透鏡及設于所述光子篩透鏡表面的變相板，所述變相板位于所述光子篩透鏡的中部或環繞于所述光子篩透鏡的邊緣，且所述光子篩透鏡的中心與變相板的中心在同一軸線上。
2.根據權利要求1所述的光子篩相襯物鏡，其特征在于，所述基底的表面為平面或曲面。
3.根據權利要求1所述的光子篩相襯物鏡，其特征在于，所述光子篩透鏡為振幅型光子篩、相位型光子篩和消色差光子篩中的一種。
4.根據權利要求1所述的光子篩相襯物鏡，其特征在于，所述變相板與所述光子篩透鏡設于所述基底的兩面。
5.根據權利要求1所述的光子篩相襯物鏡，其特征在于，所述光子篩透鏡為圓形，所述變相板的形狀為位于所述光子篩透鏡的中部的圓或環繞于所述光子篩透鏡的邊緣的圓環。
6.一種光子篩相襯物鏡的制造方法，包括以下步驟：
提供一基底；
在所述基底上蝕刻多個透光孔，以形成光子篩透鏡；
在所述光子篩透鏡表面形成變相板，且使所述變相板位于所述光子篩透鏡的中部或環繞于所述光子篩透鏡的邊緣，變相板的中心與光子篩透鏡的中心在同一軸線上。
7.根據權利要求6所述的光子篩相襯物鏡的制造方法，其特征在于，所述變相板為在所述光子篩透鏡上電鍍或者光刻形成。
8.根據權利要求6所述的光子篩相襯物鏡的制造方法，其特征在于，在所述基底的一面上蝕刻形成所述光子篩透鏡，在所述基底的另一面上蝕刻形成所述變相板。
9.根據權利要求6所述的光子篩相襯物鏡的制造方法，其特征在于，在所述基底上蝕刻形成所述光子篩透鏡時，遮蔽所述基底中心部分，所述變相板由所述基底中心部分形成。
10.一種基于光子篩相襯物鏡的成像方法，包括以下步驟：
獲取照射物體的透射光和物體相位結構引起的衍射光；
將所述透射光移動預定的相位；
將所述移相后的透射光與所述衍射光會聚在像面上形成干涉圖像。
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