[發明專利]制造微型流體裝置的方法無效
| 申請號： | 201010263314.2 | 申請日： | 2005-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN101967038A | 公開（公告）日： | 2011-02-09 |
| 發明（設計）人： | T·L·A·達諾克斯;P·卡澤 | 申請（專利權）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | C03B23/20 | 分類號： | C03B23/20 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 項丹 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 微型 流體 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種制造微型流體裝置的方法，所述方法包括：
提供一個模；
將軟化的玻璃或可陶瓷化的玻璃的片置于所述模上；
對所述片施加不同的氣體壓力，使所述片與所述模貼合，由此在所述片的至少一個表面上形成微型通道；
通過在所述模上粘結一塊玻璃或可陶瓷化的玻璃的片，在所述片的至少一個表面上基本封蓋所述微型通道。
2.權利要求1所述的方法，其特征為：它還包括陶瓷化所述板與所述片的步驟。
3.如權利要求1或2所述的方法，其特征為：對所述片施加不同的氣體壓力以使所述片與所述模貼合的步驟包括對在所述片與所述模之間的片抽真空。
4.如權利要求1-3中任何一項所述的方法，其特征為：通過在所述模上粘結玻璃或可陶瓷化的玻璃的片以在所述片的至少一個表面上基本封蓋所述微型通道的步驟包括將一軟玻璃片軋平放置在所述貼合的片上，由此將所述軟玻璃片粘結在所述貼合的片上。
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