[發明專利]激光器及其頻率變換方法

有效

• 申請號: 201010262455.2
• 申請日: 2010-08-25
• 公開（公告）號: CN102377099A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 樊仲維;王培峰;石朝輝;王小發;黃科
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: H01S3/108
• 分類號: H01S3/108;H01S3/105;H01S3/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本發明涉及激光器，特別涉及一種激光器頻率變換方法，同時，本發明還涉及采用所述激光器頻率變換方法的激光器。?

【背景技術】

近幾年，隨著工業加工應用的激光器不斷開發，簡單的基頻激光器已經遠遠不能滿足種類繁多的材料加工的應用。隨著綠光及紫外激光器的研發成功，已經逐漸有相應的激光切割、激光打標以及其他激光精細加工設備相繼面世。在眾多的綠光及紫外激光器中，無一避免要使用頻率變換技術，因此該技術已經受到人們的廣泛關注。?

在非線性變化的倍頻激光器，如三倍頻激光器及四倍頻激光器的調試中，尤其在工業加工應用激光器的調試中，腔內功率密度可達到兆瓦量級，對非線性元件極易造成損壞。在現有技術的激光頻率調試過程中采用的頻率變換方法不僅調試過程復雜，而且未能很好的保護腔內光學元件，如基頻激光晶體、非線性晶體、Q開關等，在操作過程中不僅費時費力，還經常造成元件損壞，導致激光器的不必要的維修與費用支出。?

【發明內容】

本發明解決的技術問題是提供一種激光器頻率變換方法和采用所述激光器頻率變換方法的激光器。?

本發明為解決技術問題而采用的技術方案是：提供一種激光器頻率變換方法，包括步驟：設置并調試諧振腔；設置激光晶體位置；設置并調整Q開關；引入泵浦光；設置并調整分光鏡位置；設置并調整非線性晶體位置。?

根據本發明之一優選實施例，設置并調試諧振腔的步驟包括：設置并調整轉折鏡；引入校準光；設置并調整全反鏡位置；設置并調整輸出?鏡位置。?

根據本發明之一優選實施例，在設置并調整轉折鏡的步驟中，設置轉折鏡分別與一全反鏡和一輸出鏡呈45度。?

根據本發明之一優選實施例，在引入校準光的步驟中，較準光從輸出鏡位置引入，并使校準光經過轉折鏡反射到全反鏡上。?

根據本發明之一優選實施例，設置并調整全反鏡位置的步驟中，在輸出鏡外，設置一小孔光闌，使校準光通過小孔光闌的小孔，然后調整全反鏡的位置，使校準光在全反鏡上的反射光按照原路返回，并反向穿過小孔。?

根據本發明之一優選實施例，在設置并調整輸出鏡位置的步驟中，設置輸出鏡，并使入射到輸出鏡的校準光的發射光原路返回并穿過小孔。?

根據本發明之一優選實施例，引入泵浦光的步驟中，通過光纖耦合模塊和準直聚焦光學系統向諧振腔注入泵浦光，微調所述基頻諧振腔使所述輸出鏡后特定波長的基頻激光輸出達到最大值。?

根據本發明之一優選實施例，設置并調整分光鏡位置的步驟中，插入并調整分光鏡至預定位置，分光鏡的鏡片的分光端鍍有特定波長激光垂直偏振反射膜，當檢測到特定波長激光且使其插入損耗達到最低時固定分光鏡。?

根據本發明之一優選實施例，在設置并調整非線性晶體位置的的步驟中，放置非線性晶體，調整非線性晶體的方位角度，當檢測到分光鏡反射出的特定波長激光功率達到最大時，固定非線性晶體，通過調整非線性晶體的溫控系統，檢測特定波長激光輸出功率，當特定波長激光輸出功率與預估的數值一致時，確定非線性晶體的位置。?

根據本發明之一優選實施例，更換輸出鏡為鍍與頻率變換要求波長一致的高反射膜鏡片，引入校準光，使入射到所述高反射膜鏡片的校準光的發射光原路返回并穿過小孔，同時檢測所述分光鏡反射出的特定波長激光功率，并調整高反射膜鏡片的位置至功率為最大值時，從而設置并確定所述高反射膜鏡片的位置。?

本發明為解決技術問題而采用的技術方案是：提供一種激光器，所?述激光器的激光頻率變換調節過程采用上述任意一項或多項的激光器頻率變換方法。?

激光器頻率變換調試過程中通過增大腔內損耗，來有效降低腔內功率密度，以達到保護腔內光學元件的目的，減小調試過程中帶來的不必要的額外損耗。所述激光器頻率變換方法具有簡單易于調試且不易損壞腔內元件的優點。?

【附圖說明】

下面將結合附圖及實施例對本發明作進一步說明，附圖中：?

圖1顯示了應用本發明一優選實施例的激光器非線性頻率變換方法的端面泵浦二倍頻固體激光器的結構示意圖；?

圖2顯示了應用本發明一優選實施例的激光器非線性頻率變換方法的端面泵浦二倍頻固體激光器的結構示意圖；?

圖3顯示了應用本發明一優選實施例的激光器非線性頻率變換方法的端面泵浦三倍頻固體激光器的結構示意圖；?

圖4顯示了本發明一優選實施例的非線性激光器頻率變換方法的流程示意圖。?

【具體實施方式】