[發明專利]壓電元件及其制造方法、壓電致動器、液體噴射頭及裝置

無效

• 申請號: 201010260161.6
• 申請日: 2010-08-20
• 公開（公告）號: CN101997080A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 中山雅夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/22;B41J2/14
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 陳海紅;周春燕

1.一種壓電元件，包括：

基板；

設置在所述基板的上方的第1導電層；

覆蓋所述第1導電層的上方及側方的壓電體層；

緩沖層，其設置在所述壓電體層的上方，沿該壓電體層的頂面的邊緣而設置；以及

至少覆蓋所述緩沖層及所述壓電體層的第2導電層。

2.根據權利要求1所述的壓電元件，其中：

所述緩沖層具有連接該緩沖層的頂面及所述壓電體層的側面的第1側面和連接所述緩沖層的頂面及所述壓電體層的頂面的第2側面；

所述第2側面相對于所述緩沖層的頂面的傾斜度比所述第1側面相對于所述緩沖層的頂面的傾斜度小。

3.根據權利要求1或2所述的壓電元件，還包括：

覆蓋所述壓電體層的頂面且設置在該壓電體層與所述第2導電層之間的第3導電層；

其中，所述緩沖層設置于所述第3導電層的上方。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的壓電元件，其中：

所述緩沖層的材質包括從氧化鋁、氧化鈦、氮化硅及氧化鑭鎳中選擇的至少一種。

5.根據權利要求1～4中的任意一項所述的壓電元件，其中：

具有多個包括所述第1導電層、所述壓電體層、所述緩沖層及所述第2導電層的疊層結構；

所述第1導電層成為各所述疊層結構中的分立電極，所述第2導電層成為多個所述疊層結構中的共用電極。

6.一種壓電元件的制造方法，包括：

在基板的上方形成第1導電層的工序；

使壓電體層成膜于所述基板及所述第1導電層的上方的工序；

使緩沖層成膜于所述壓電體層的上方的工序；

對所述緩沖層及所述壓電體層進行圖案形成的第1圖案形成工序；

對圖案形成后的所述緩沖層進一步進行圖案形成的第2圖案形成工序；以及

以包覆所述壓電體層及所述緩沖層的方式形成第2導電層的工序；

其中，在所述第2圖案形成工序中，所述緩沖層以沿所述壓電體層的頂面的邊緣的方式形成。

7.一種壓電致動器，包括：

權利要求1～5中的任意一項所述的壓電元件；

其中，所述基板具有可撓性，通過所述壓電體層的工作而發生變形。

8.一種液體噴射頭，包括：

權利要求7所述的壓電致動器；以及

壓力室，其與噴嘴孔相連通，且其容積通過所述壓電致動器的工作而發生變化。

9.一種液體噴射裝置，包括：

權利要求8所述的液體噴射頭。