[發(fā)明專利]切削裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010260122.6
• 申請日: 2010-08-20
• 公開（公告）號: CN101992505A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邁克爾·加德
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 陳堅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種切削裝置，該切削裝置具備：卡盤工作臺(chuck?table)，該卡盤工作臺保持被加工物；切削刀具，該切削刀具用于切削由卡盤工作臺保持的被加工物；以及刀具罩(blade?cover)，該刀具罩以覆蓋切削刀具的外周的方式配設(shè)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制造工藝中，在半導(dǎo)體晶片表面形成多個IC(Integrated?Circuit：集成電路)、LSI(Large-scale?Integration：大規(guī)模集成電路)或固體攝像元件等器件。然后，通過沿著對各個器件進行分區(qū)的被稱為間隔道(street)的分割預(yù)定線利用切削裝置切削晶片，來將晶片分割成一個個器件。

作為切削裝置廣泛使用被稱作劃片機(dicer)的切削裝置，劃片機具備包含切削刀具的切削構(gòu)件。切削刀具具有切削刃，該切削刃利用金屬或樹脂等固定金剛石或CBN(Cubic?Boron?Nitride：立方氮化硼)等超硬磨粒而成，且厚度大約為幾十～幾百微米，該切削刀具一邊以大約30000rpm的高速進行旋轉(zhuǎn)一邊切入被加工物，將被加工物的一部分切削除去，由此來分割被加工物。

為了對通過切削產(chǎn)生的加工熱進行冷卻，并且為了將通過切削產(chǎn)生的切屑從被加工物上排出，在劃片機中一邊對加工點(切削刀具與被加工物接觸的點)和被加工物上表面供給切削液一邊進行切削。

特別是在被加工物為在表面形成有CCD(Charge?Coupled?Device：電荷耦合器件)或CMOS(Complementary?Metal?Oxide?Semiconductor：互補金屬氧化物半導(dǎo)體)等攝像器件的晶片、或在表面形成有濾光器、光拾取器件等光器件的基板的情況下，如果切屑附著在器件上，則會引起器件不良，因此非常重視防止切屑的附著。

切屑一旦附著在被加工物上并干燥，就非常不容易在隨后的清洗工序中去除，因此，如日本特開2006-289509號公報所公開的那樣，提出有在切削過程中將產(chǎn)生的切屑與切削液一起除去的機構(gòu)，或者是使用如日本特開2006-150844號公報所公開的加工用劑來防止切屑在切削過程中附著在被加工物上的方法。

專利文獻1：日本特開2006-289509號公報

專利文獻2：日本特開2006-150844號公報

然而，存在這樣的問題：即便采用專利文獻1和2所公開的裝置或者方法，也難以完全地防止切屑附著在被加工物上。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是鑒于該問題而完成的，其目的在于提供一種能夠防止切屑附著在被加工物上的切削裝置。

根據(jù)本發(fā)明，提供一種切削裝置，該切削裝置具備：卡盤工作臺，該卡盤工作臺保持被加工物；切削刀具，該切削刀具用于切削由所述卡盤工作臺保持的被加工物；以及刀具罩，在該刀具罩的底部具有開口，所述切削刀具的末端從所述開口凸出，并且，在切削被加工物時，在所述刀具罩的底部和被加工物之間形成有間隙，所述切削裝置的特征在于，所述切削裝置具備：液壁形成構(gòu)件，該液壁形成構(gòu)件具有一對噴出口，當以所述切削刀具在該切削刀具最低點處的旋轉(zhuǎn)方向為切削刀具旋轉(zhuǎn)方向時，這一對噴出口以夾持從所述開口凸出的所述切削刀具的末端的方式在所述切削刀具旋轉(zhuǎn)方向的上游側(cè)配設(shè)于所述切削刀具的兩面?zhèn)龋鲆罕谛纬蓸?gòu)件從所述噴出口沿所述切削刀具旋轉(zhuǎn)方向朝該切削刀具旋轉(zhuǎn)方向的下游側(cè)噴出用于形成液壁的液壁形成液，從而形成比所述開口要長的沿所述切削刀具旋轉(zhuǎn)方向延伸的一對液壁，從而封閉所述間隙；切削液供給構(gòu)件，該切削液供給構(gòu)件配設(shè)在所述一對噴出口之間，用于向所述切削刀具供給切削液；以及排出構(gòu)件，該排出構(gòu)件配設(shè)在切削液和形成了所述液壁的液壁形成液飛濺的一側(cè)，用于將切削液和液壁形成液從被加工物上排出，其中所述切削液被供給至所述切削刀具并伴隨該切削刀具的旋轉(zhuǎn)而連帶旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的是：切削裝置還具有一對引導(dǎo)壁，這一對引導(dǎo)壁以夾持切削刀具的方式形成于切削刀具的兩面?zhèn)龋⒂糜谠谇邢鞯毒咝D(zhuǎn)方向引導(dǎo)液壁形成液。

優(yōu)選的是：排出構(gòu)件包括抽吸構(gòu)件。

根據(jù)本發(fā)明，大致整個切削刀具都由刀具罩覆蓋，并且，混有切屑的切削液通過液壁而被引導(dǎo)向切削刀具旋轉(zhuǎn)方向的下游側(cè)，混有切屑的切削液和液壁形成液通過排出構(gòu)件而被從被加工物上排出，因此能夠防止切屑附著在被加工物上。

根據(jù)方案2所述的發(fā)明，液壁形成液通過引導(dǎo)壁而僅向切削刀具旋轉(zhuǎn)方向流出，并且引導(dǎo)壁能夠防止液壁形成液與切削刀具碰撞而飛濺。

根據(jù)方案3所述的發(fā)明，通過利用抽吸構(gòu)件強制性地進行抽吸，能夠更有效地排出混有切屑的切削液和液壁形成液。

附圖說明