[發(fā)明專利]一種測(cè)量工件臺(tái)垂向位置的裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010259190.0
• 申請(qǐng)日: 2010-08-20
• 公開（公告）號(hào): CN102374844A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林彬;張俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G01B9/02
• 分類號(hào): G01B9/02;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種測(cè)量工件臺(tái)垂向位置的裝置，該裝置包括：

光源，發(fā)射出平行光束；

調(diào)制光柵，對(duì)來自光源的光束進(jìn)行調(diào)制；

第一顯微物鏡，對(duì)來自調(diào)制光柵的光束進(jìn)行縮束；

第二顯微物鏡，對(duì)從工件臺(tái)反射回來的測(cè)量光束進(jìn)行擴(kuò)束；

測(cè)量光柵，接收來自第二顯微物鏡的測(cè)量光束；

探測(cè)器，接收從測(cè)量光柵出射的光束，并對(duì)其進(jìn)行測(cè)量，得到角反射鏡的高度，

其特征在于，工件臺(tái)的側(cè)面安裝有一個(gè)角反射鏡，該角反射鏡能將入射光束平行反射回去，測(cè)量光柵上的光柵條紋與入射到測(cè)量光柵上的光束條紋成一夾角，兩個(gè)光柵的周期為光源發(fā)出的光束的波長的100倍以上，光束穿過測(cè)量光柵后形成莫爾條紋。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，光源是激光器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，第一顯微物鏡對(duì)光束的直徑進(jìn)行縮小，第二顯微物鏡對(duì)光束進(jìn)行擴(kuò)束。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3其中之一所述的裝置，其特征在于，光源和探測(cè)器均被安裝于基準(zhǔn)架上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，裝置對(duì)工件臺(tái)位置的測(cè)量精度滿足：

D＝(A×sinθ)/2F

其中D為裝置對(duì)工件臺(tái)位置的測(cè)量精度，A為探測(cè)器的探測(cè)精度，θ為測(cè)量光柵上的光柵條紋與入射到測(cè)量光柵上的光束條紋之間的夾角，F(xiàn)為第二顯微物鏡的放大倍率。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5其中之一所述的裝置，其特征在于所述夾角小于5度。