[發明專利]真空排氣裝置

有效

• 申請號: 201010258919.2
• 申請日: 2010-08-16
• 公開（公告）號: CN101996832A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 后藤尚史;內田恭輔
• 申請（專利權）人: 中外爐工業株式會社
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 馬淑香

技術領域

本發明涉及一種具有制品的排氣口的封閉機構的真空排氣裝置(日語：真空排気ヘツド)。

背景技術

在等離子顯示面板等的制造工序中，需要將制品內部的空氣排成真空、根據需要封入氣體、封閉制品的排氣口的作業。為了實現高真空，需要邊對制品進行加熱邊抽真空。作為封閉排氣口的方法，有將安裝于排氣口的接頭管熔斷的方法和利用熱溶融性的粘接劑(熔融金屬等)將封閉構件(蓋)粘接于排氣口的方法。

專利文獻1至3中所記載的那樣的真空排氣裝置中，通過緊貼制品的排氣口周圍而形成有封閉的內部空間，通過將內部空間抽真空，能將制品抽成真空。此外，在上述真空排氣裝置中，在內部空間具有保持封閉構件、在抽成真空后將封閉構件按壓于制品的排氣口的桿，但由于不易進行桿的滑動部的軸密封，因此，在將制品抽真空時，需要不對桿的軸封部進行加熱。

因此，在專利文獻1至3的真空排氣裝置中，不能將真空排氣裝置整體在爐內加熱，將桿的軸封部露出在加熱爐(加熱箱)外進行抽真空。此外，上述真空排氣裝置中，即便在桿的前端或其附近設置小型的加熱器、使粘接劑熔化、利用封閉構件封閉排氣口時，也不能有過剩的熱作用于桿的軸封部。

另一方面，為了實現真空排氣工序的效率化，作為優選，如專利文獻4所述，保持多個制品，采用能將真空排氣裝置按壓于各制品的推車，在加熱爐內加熱各推車，同時進行許多制品的抽真空。

不過，如上所述，若設置將封閉構件按壓于排氣口的桿，為了軸封桿，不能將真空排氣裝置整體在爐內加熱，不能提高生產效率。

專利文獻1：日本專利特開平6-139935號公報

專利文獻2：日本專利特開2001-195983號公報

專利文獻3：日本專利特開2004-55480號公報

專利文獻4：日本專利特許第3866085號公報

發明內容

本發明鑒于上述技術問題而作，其目的在于提供一種能在高溫的爐內將封閉構件按壓于制品的排氣口來封閉排氣口的真空排氣裝置。

為解決上述技術問題，本發明所涉及的真空排氣裝置包括裝置主體和保持構件，其中，上述裝置主體被劃分成真空排氣空間和差壓驅動空間，上述真空排氣空間的開口被制品封閉從而可抽真空，差壓驅動空間位于上述開口的相反一側，與上述真空排氣空間被可變形的隔板劃分開，可獨立于上述真空排氣空間地抽真空，上述保持構件被上述隔板支承，保持對上述制品的排氣口進行封閉的封閉構件，通過上述隔板的變形，可朝上述裝置主體的開口移動。

根據該結構，將真空排氣空間和差壓驅動空間同時抽真空，將制品內的氣體排空，將空氣導入差壓驅動空間，藉此，使隔板朝真空排氣空間側膨脹，使保持構件朝制品移動，能將封閉構件按壓于制品的排氣口來封閉排氣口。此外，該結構中，由于保持構件的驅動機構不需要軸封，因此，在使真空排氣裝置在爐內加熱的狀態下也能驅動。

此外，本發明的真空排氣裝置中，上述保持構件被上述隔板支承，并設于朝向上述開口延伸的桿的前端，此外，在上述真空排氣空間內，也可具有將上述桿保持成可在軸向上滑動的引導構件。

根據該結構，由于桿的姿勢和移動方向被引導構件限制，因此，保持構件的移動穩定，能可靠地封閉排氣口。

此外，在本發明的真空排氣裝置中，上述差壓驅動空間的截面積也可比上述真空排氣空間的截面積小。

根據該結構，由于能在真空排氣空間與差壓驅動空間的邊界上形成臺階，因此，能將隔板固定于該臺階。此外，通過減小差壓驅動空間的容積，在同時將真空排氣空間和差壓驅動空間抽真空時，由于差壓驅動空間的內部壓力先降低，因此，在制品的抽真空結束之前，不會出現保持構件突出、堵住制品的排出口的情形。

此外，本發明的真空排氣裝置中，也可在上述開口的周圍設置與上述制品緊貼的O形環。

根據該結構，能確保真空排氣裝置與制品之間的氣密。

根據本發明，由于利用真空排氣裝置內部的隔板的變形來驅動保持構件，將封閉制品的排氣口的封閉構件按壓于制品，因此，能將保持構件和保持構件的驅動機構完全收容于真空排氣裝置的內部。由此，不需要驅動機構的軸封，不存在不耐熱的部分，從而能使真空排氣裝置整體在加熱爐內暴露于高溫下。藉此，可實現真空排氣工序的簡化和處理能力的增強。

附圖說明

圖1是本發明第一實施方式的真空排氣裝置的剖視圖。

圖2是圖1的真空排氣裝置的排氣口封閉時的剖視圖。

圖3是具有多個圖1的真空排氣裝置的處理推車。

圖4是本發明第二實施方式的真空排氣裝置的剖視圖。

(符號說明)