[發明專利]軟化點測定裝置及熱傳導測定裝置

有效

• 申請號: 201010258421.6
• 申請日: 2010-08-12
• 公開（公告）號: CN101995416A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 安藤和德;巖佐真行;繁野雅次;百田洋海;渡邊和俊
• 申請（專利權）人: 精工電子納米科技有限公司
• 主分類號: G01N25/04
• 分類號: G01N25/04;G01N25/20
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;徐予紅

1.一種軟化點測定裝置，以探測顯微鏡為基礎，該探測顯微鏡包括：在前端具備探針，其附近具有發熱部的懸臂；向發熱部施加電壓的電壓施加單元；檢測該懸臂的位移的位移檢測單元；使樣品移動的樣品移動單元；用于將所述探針及所述樣品載放在內部的真空容器；以及該真空容器的真空排氣單元，通過加熱所述發熱部來加熱所述探針，局部地加熱與樣品的接觸部，通過檢測懸臂的彎曲量來測定所述樣品的軟化點，其特征在于，使所述探針和所述樣品的周圍環境為1/100氣壓(10³Pa)以下。

2.一種軟化點測定裝置，以探測顯微鏡為基礎，該探測顯微鏡包括：在前端具備探針，其附近具有發熱部的懸臂；向發熱部施加電壓的電壓施加單元；檢測該懸臂的位移的位移檢測單元；使樣品移動的樣品移動單元；以及用于將所述探針及所述樣品載放在內部的容器，通過加熱所述發熱部來加熱所述探針，局部地加熱與樣品的接觸部，通過檢測懸臂的彎曲量來測定所述樣品的軟化點，其特征在于，還包括覆蓋所述探針的側面的絕熱材料，與不使用該絕熱材料時相比，來自所述探針側面的熱逃逸為熱量的1/100以下。

3.根據權利要求2所述的軟化點測定裝置，其中，所述絕熱材料的厚度為至少在大氣中在探針側面的表面形成的自然氧化膜的大致100倍的厚度。

4.根據權利要求3所述的軟化點測定裝置，其中，所述絕熱材料是SiO₂膜，至少涂敷大約240nm的厚度。

5.一種熱傳導測定裝置，以測定樣品的熱傳導的探測顯微鏡為基礎，該探測顯示鏡包括：在前端具備探針，其附近具有發熱部的懸臂；向發熱部施加電壓的電壓施加單元；檢測該懸臂的位移的位移檢測單元；使樣品移動的樣品移動單元；用于將所述探針及所述樣品載放在內部的真空容器；以及該真空容器的真空排氣單元，測定所述發熱部的電阻變化，通過檢測懸臂的溫度變化作為電阻值的變化，經由與樣品的接觸部測定樣品面的熱傳導，其特征在于，使所述探針和所述樣品的周圍環境為1/100氣壓(10³Pa)以下。

6.一種熱傳導測定裝置，以探測顯微鏡為基礎，該探測顯微鏡包括：在前端具備探針，其附近具有發熱部的懸臂；向發熱部施加電壓的電壓施加單元；檢測該懸臂的位移的位移檢測單元；使樣品移動的樣品移動單元；以及用于將所述探針及所述樣品載放在內部的容器，測定所述發熱部的電阻變化，通過檢測懸臂的溫度變化作為電阻值的變化，經由與樣品的接觸部測定樣品面的熱傳導，其特征在于，還包括覆蓋所述探針的側面的絕熱材料，與不使用該絕熱材料時相比，來自所述探針側面的熱逃逸為熱量的1/100以下。

7.根據權利要求6所述的熱傳導測定裝置，其中，所述絕熱材料的厚度為至少在大氣中在探針側面的表面形成的自然氧化膜的大致100倍的厚度。

8.根據權利要求7所述的熱傳導測定裝置，其中，所述絕熱材料是SiO₂膜，至少涂敷大約240nm的厚度。

9.根據權利要求5至8中任一項所述的熱傳導測定裝置，其中，還包括樣品的加熱冷卻單元。