[發明專利]一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃及其制備方法

無效

• 申請號: 201010258327.0
• 申請日: 2010-08-17
• 公開（公告）號: CN101921985A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 陳奇;許沭華;張兵;李林;羅雷;夏大映;朱磊
• 申請（專利權）人: 蕪湖長信科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 張小虹

1.一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃，其特征在于：所述的高透過率觸摸屏透明導電玻璃包括玻璃基板(1)，以及在玻璃基板(1)的至少一個表面依次沉積一組光學增透膜和ITO膜層(4)，所述的光學增透膜包括TiO₂薄膜層(2)和SiO₂薄膜層(3)。

2.根據權利要求1所述的一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃，其特征在于：所述的高透過率觸摸屏透明導電玻璃為在玻璃基板(1)的一個表面上通過鈦板直流反應濺射技術設置一層TiO₂薄膜層(2)，在TiO₂薄膜層(2)的另一面上通過硅靶中頻反應濺射技術設置一層SiO₂薄膜層(3)，最后通過ITO靶材直流濺射技術在SiO₂薄膜層(3)的另一面上設置ITO膜層(4)。

3.根據權利要求1所述的一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃，其特征在于：所述的高透過率觸摸屏透明導電玻璃為在玻璃基板(1)的一個表面上通過鈦板直流反應濺射技術設置一層TiO₂薄膜層(2)，在TiO₂薄膜層(2)的另一面上通過硅靶中頻反應濺射技術設置一層SiO₂薄膜層(3)，通過ITO靶材直流濺射技術在SiO₂薄膜層(3)的另一面上設置ITO膜層(4)；所述的玻璃基板(1)的另一個表面上通過鈦板直流反應濺射技術設置一層TiO₂薄膜層(2)，在TiO₂薄膜層(2)的另一面上通過硅靶中頻反應濺射技術設置一層SiO₂薄膜層(3)。

4.根據權利要求1-3任一項權利要求所述的一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃，其特征在于：所述的玻璃基板(1)為超薄浮法玻璃基板。

5.根據權利要求4所述的一種高透過率觸摸屏透明導電玻璃，其特征在于：所述的TiO₂薄膜層(2)、SiO₂薄膜層(3)以及ITO膜層(4)在連續式真空鍍膜機中一次性完成。