[發明專利]對準襯底的方法

有效

• 申請號: 201010256233.X
• 申請日: 2010-08-16
• 公開（公告）號: CN101996917A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 吳昇勛;金性秀;程成德;文元根
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種對準襯底結合設備的第一襯底與第二襯底的方法，所述襯底結合設備包含用于對準各自包括多個對準標記的所述第一襯底與所述第二襯底的對準單元，其特征在于，

所述第一襯底的所述多個對準標記中的一個與所述第二襯底的所述多個對準標記中的對應者被定義成一對對準標記，

所述方法包括減少多個未對準值中的最大未對準值以便對準所述第一襯底與所述第二襯底，每一未對準值是從每一對對準標記獲得。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，減少所述最大未對準值包括對準所述第一襯底與所述第二襯底，使得多對所述對準標記的未對準值包含在容許范圍內。

3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，減少所述最大未對準值包括：

在所述第一襯底和所述第二襯底中的任一個進行虛擬移動的X、Y和θ方向中的每一個上設定虛擬移動算術范圍，和通過將所述虛擬移動算術范圍劃分成若干個區段來設定虛擬移動算術空間；

在所述X、Y和θ方向中的每一個上設定的所述虛擬移動算術范圍內與相應的所述虛擬移動算術空間對應的虛擬移動算術值處執行算術運算，且存儲所述X、Y和θ方向上在相應的所述虛擬移動算術值處所獲得的所述最大未對準值；

搜索所述最大未對準值中的最小值和X、Y和θ方向上對應于所述最小值的虛擬移動算術值；以及

將所述X、Y和θ方向上的所述虛擬移動算術空間與所述X、Y和θ方向上所述對準單元的分辨率進行比較，

其中，在所述X、Y和θ方向上所述虛擬移動算術空間中的至少一個大于所述X、Y和θ方向上所述對準單元的所述分辨率的情況下，

所述方法還包括且重復：

設定兩個虛擬移動算術值之間的范圍作為所述X、Y和θ方向上的新虛擬移動算術范圍，使得所述新虛擬移動算術空間小于先前的所述虛擬移動算術空間；

通過將所述新虛擬移動算術范圍劃分成若干個區段來設定新虛擬移動算術空間；且

所述方法重復：

設定兩個虛擬移動算術值之間的所述范圍作為所述X、Y和θ方向上的所述新虛擬移動算術范圍；

設定所述新虛擬移動算術空間；

執行所述算術運算；

存儲所述最大未對準值；

搜索所述最大未對準值中的所述最小值；以及

將所述X、Y和θ方向上的所述虛擬移動算術空間與所述X、Y和θ方向上所述對準單元的分辨率進行比較；且

其中，在所述X、Y和θ方向上相應的所述虛擬移動算術空間大于所述X、Y和θ方向上所述對準單元的所述分辨率的情況下，

所述方法還包括：

將所述第一襯底和所述第二襯底中的一個移動到所述X、Y和θ方向上對應于所述最小值的所述虛擬移動算術值以對準所述第一襯底與所述第二襯底。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，在通過將所述虛擬移動算術范圍劃分成若干個區段來設定所述虛擬移動算術空間的期間，所述X、Y和θ方向上的所述虛擬移動算術空間經設定以在所述X、Y和θ方向上具有在所述虛擬移動算術范圍內的恒定空間。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述X、Y和θ方向上所述虛擬移動算術空間的邊界點被設定為所述虛擬移動算術值。

6.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述X、Y和θ方向上的初始虛擬移動算術范圍被設定為所述第一襯底與所述第二襯底之間的最大未對準值，且所述最大未對準值為限定于所述襯底支撐單元的區域內的值。

7.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，存儲所述X、Y和θ方向上在相應的所述虛擬移動算術值處所獲得的所述最大未對準值包括：

對于對應于所述虛擬移動算術值的所有各對的對準標記進行所述X、Y和θ方向上呈(X，Y，θ)形式的組合，且相對于所有的所述組合來計算未對準值；以及

存儲針對對應于每一虛擬移動算術值的所有各對的對準標記所獲得的經計算的所述未對準值中的最大未對準值，作為每一虛擬移動算術值的所述最大未對準值。

8.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，在設定兩個虛擬移動算術值之間的所述范圍作為所述新虛擬移動算術范圍的期間，所述兩個虛擬移動算術值中的一個鄰近于一個方向上對應于所述最小值的所述虛擬移動算術值，且所述兩個虛擬移動算術值中的另一個鄰近于沿相反方向對應于所述最小值的所述虛擬移動算術值。

9.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，在通過將所述新虛擬移動算術范圍劃分成若干個區段來設定所述新虛擬移動算術空間的期間，所述新虛擬移動算術范圍中區段的數目是與先前所述虛擬移動算術范圍中區段的數目相同。