[發明專利]一種用于大面積光刻的投影物鏡

有效

• 申請號: 201010255087.9
• 申請日: 2010-08-17
• 公開（公告）號: CN102375214A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發明（設計）人: 張品祥;黃玲
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B1/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于大面積光刻的投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡包括沿光軸依次設置的一具有正光焦度的第一透鏡組，一具有負光焦度的第二透鏡組，一孔徑光闌，以及一與第二透鏡組相對孔徑光闌對稱設置的第三透鏡組，一與第一透鏡組相對孔徑光闌對稱設置的第四透鏡組；第一、第二透鏡組的光焦度滿足以下關系式：

G1∶G2＝-0.92～-1.08

其中，G1為第一透鏡組光焦度；G2為第二透鏡組光焦度。

2.如權利要求1所述的投影物鏡，其特征在于所述第一透鏡組包括具有正光焦度的第一及第二子透鏡組，第一、第二子透鏡組光焦度滿足以下關系式：

G11∶G12＝0.9～1.1

其中，G11為第一子透鏡組光焦度；G12為第二子透鏡組光焦度。

3.如權利要求2所述的投影物鏡，其特征在于所述第一子透鏡組包括兩組正光焦度的透鏡，一組由一片正透鏡及一片負透鏡組成偽膠合透鏡，用以校正色差；另外一組至少包括一片正透鏡。

4.如權利要求3所述的投影物鏡，其特征在于所述第二透鏡組包括至少一片負透鏡。

5.如權利要求4所述的投影物鏡，其特征在于具有負光焦度的鏡片使用i-line折射率大于1.6的火石玻璃，具有正光焦度的鏡片使用低色散的冕牌玻璃；偽膠合透鏡玻璃材料對的阿貝數差大于300；阿貝數是指：其中n₃₆₅是材料在365nm波長下的折射率，n₃₆₃是材料在365nm波長下的折射率，n₃₆₇是材料在365nm波長下的折射率。

6.如權利要求4所述的投影物鏡，其特征在于具有負光焦度的鏡片使用低色散的冕牌玻璃，具有正光焦度的鏡片使用i-line折射率大于1.6的火石玻璃；偽膠合透鏡玻璃材料對的阿貝數差大于300；阿貝數是指：其中n₃₆₅是材料在365nm波長下的折射率，n₃₆₃是材料在365nm波長下的折射率，n₃₆₇是材料在365nm波長下的折射率。

7.如權利要求4所述的投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡的工作距L滿足：D是最大的鏡片直徑，F是全視場大小，NA是數值孔徑。

8.如權利要求4所述的投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡為1倍放大倍率。

9.如權利要求4所述的投影物鏡，其特征在于所述投影物鏡的工作距為200mm-400mm。