[發明專利]堿溶性聚合物、包含其的感光性樹脂組合物及其用途

有效

• 申請號: 201010254899.1
• 申請日: 2010-08-12
• 公開（公告）號: CN101993537A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 澀井智史;金田隆行;湯之口智惠
• 申請（專利權）人: 旭化成電子材料株式會社
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;G03F7/039;H01L21/3105;H01L23/29
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種堿溶性聚合物，其具有：

由選自由多元羧酸及其衍生物組成的組中的至少一種羧酸化合物與多元氨基化合物合成的結構，以及

具有交聯基、且能與所述多元羧酸或其衍生物反應的化合物由來的含交聯基結構。

2.根據權利要求1所述的堿溶性聚合物，所述含交聯基結構為下述通式(1)所示的結構，

[化學式1]

式(1)中，R₁及R₂各自獨立為選自由氫原子以及碳原子數1～5的烴基組成的組中的至少一種基團，R₃為具有選自由羥基、烷氧基、鏈烯基、環氧基、以及氧雜環丁烷基組成的組中的至少一種基團的基團，W₁為碳原子數1～30的(n₁+2)價有機基團，m₁為1～500的整數，且n₁為1～12的整數。

3.一種堿溶性聚合物，其具有選自由下述通式(2)所示的結構、以及下述通式(4)所示的結構組成的組中的至少一種結構，

[化學式2]

式(2)中，X₁、Y₁以及Y₂各自獨立為至少具有2個碳原子的2～4價有機基團，Z₁具有下述通式(3)所示的結構，R₄～R₆各自獨立為氫原子或碳原子數1～10的烴基，m₂為1～1000的整數，m₃為1～500的整數，在此，m₂/(m₂+m₃)＝0.05～0.99，且n₂～n₇各自獨立為0～2的整數，n₂+n₃+n₄+n₅+n₆+n₇＞0，在此，包含X₁及Y₁的m₂個單元、以及包含Z₁及Y₂的m₃個單元的排列順序不限，

[化學式3]

式(3)中，R₁及R₂各自獨立為選自由氫原子以及碳原子數1～5的烴基組成的組中的至少一種基團，R₃為具有選自由羥基、烷氧基、鏈烯基、環氧基、以及氧雜環丁烷基組成的組中的至少一種基團的基團，W₂為碳原子數1～30的(n₁+2)價有機基團，B為選自由-NH-、-O-以及-S-組成的組中的基團，且n₁為1～12的整數；

[化學式4]

式(4)中，Y₃為至少具有2個碳原子的4價有機基團，X₂及Y₄各自獨立為至少具有2個碳原子的2～4價有機基團，Z₁具有下述通式(3)所示的結構，R₇及R₈各自獨立為氫原子或碳原子數1～10的烴基，m₄為1～1000的整數，m₅為1～500的整數，在此，m₄/(m₄+m₅)＝0.05～0.99，n₈～n₁₁為0～2的整數，n₈+n₉+n₁₀+n₁₁＞0，在此，包含X₂及Y₃的m₄個單元、以及包含Z₁及Y₄的m₅個單元的排列順序不限，

[化學式5]

式(3)中，R₁及R₂各自獨立為選自由氫原子以及碳原子數1～5的烴基組成的組中的至少一種基團，R₃為具有選自由羥基、烷氧基、鏈烯基、環氧基、以及氧雜環丁烷基組成的組中的至少一種基團的基團，W₂為碳原子數1～30的(n₁+2)價有機基團，B為選自由-NH-、-O-以及-S-組成的組中的基團，且n₁為1～12的整數。