[發明專利]一種基于圖像處理的電子束表面加工方法

有效

• 申請號: 201010254515.6
• 申請日: 2010-08-17
• 公開（公告）號: CN101947688A
• 公開（公告）日: 2011-01-19
• 發明（設計）人: 王西昌;鞏水利;余偉;毛智勇;左從進
• 申請（專利權）人: 中國航空工業集團公司北京航空制造工程研究所
• 主分類號: B23K15/00
• 分類號: B23K15/00;B23K15/06
• 代理公司: 中國航空專利中心 11008
• 代理人: 陳宏林

1.基于圖像處理的電子束表面加工方法，其特征在于：該方法的步驟是：

(1)將電子束加工設備準備就緒后，在工作臺上放置需要進行加工的工件；

(2)關閉真空室門，開啟真空系統抽真空，使工件工作環境達到可工作狀態；

(3)利用圖像處理軟件生成電子束掃描軌跡的位圖文件，并為掃描軌跡中的每一個像素點設定灰度值；

(4)提取掃描軌跡圖像文件的像素點的參數，將像素點分成X和Y兩組位置數據，將每個像素點的灰度值定義為該點的電子束掃描停留時間，灰度值0為該點不停留，并將XY位置數據和灰度值通過串口通訊從圖像處理裝置中下載保存到電子束加工設備的掃描控制裝置的存儲器中；

(5)通過掃描控制裝置分別將X和Y兩組位置數據轉成電壓模擬信號，灰度值作為輸出電壓信號的延遲時間，延時完成后，再讀取下一像素點參數，根據此點的參數改變輸出電壓信號與延遲相應時間，直到所有的像素點都被掃描完成。驅動器將每次輸出的電壓信號放大處理后，輸出到偏轉線圈的X和Y通道；

(6)將電子束加工設備工作電壓加到150kv，并將陰極燈絲加熱，調整聚焦電流為表面聚焦狀態；

(7)打開掃描控制系統控制開關，然后打開設備束流開關，調整束流，并從CCD顯示屏上觀察電子束表面加工過程；

(8)掃描結束后關斷束流，關閉掃描控制系統和燈絲加熱；

(9)真空室放氣后，將工件拿出。

2.根據權利要求1所述的基于圖像處理的電子束表面加工方法，其特征在于：圖像處理軟件生成電子束掃描軌跡的位圖文件為BMP格式。

3.根據權利要求1所述的基于圖像處理的電子束表面加工方法，其特征在于：灰度值為1的電子束掃描的停留時間是1微秒。