[發明專利]折反射投射物鏡

有效

• 申請號: 201010254294.2
• 申請日: 2010-08-13
• 公開（公告）號: CN101995591A
• 公開（公告）日: 2011-03-30
• 發明（設計）人: 弗拉迪米爾·卡梅諾夫;亞歷山大·埃普爾;托拉爾夫·格魯納;托馬斯·希克坦茲
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT股份公司
• 主分類號: G02B1/11
• 分類號: G02B1/11;G02B13/00;G02B17/08;G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種用于微光刻的折反射投射物鏡(1、1101、1601、1701)，用于將物面(5、1105、1605、1705)中的物場(3、1103、1603、1703)成像到像面(9、1109、1609、1709)中的像場(7、1107、1607、1707)，包括：

第一分物鏡(11、1111、1611、1711)，用于將所述物場成像到實的第一中間像(13、1113、1613、1713)上；

第二分物鏡(15、1115、1615、1715)，用于將所述第一中間像成像到實的第二中間像(17、1117、1617、1717)上；以及

第三分物鏡(19、1119、1619、1719)，用于將所述第二中間像成像到所述像場上，

其中所述第二分物鏡是恰具有一個凹面鏡(21、1121、1621、1721)且具有至少一個透鏡(L21、L22、L1111、L1611、L1712)的折反射物鏡，并且

其中提供第一折疊鏡(23、1123、1623、1723)和第二折疊鏡(25、1125、1625、1725)，所述第一折疊鏡用于將來自所述物面的光線偏向所述凹面鏡的方向，所述第二折疊鏡用于將來自所述凹面鏡的光線偏向所述像面的方向，

其特征在于：

所述第二分物鏡的所述透鏡(L21、L22、L1111、L1611、L1712)的至少一個表面具有對于從150nm到250nm的工作波長及從0°到30°的入射角反射率小于0.2％的抗反射涂層(337、437、537)。

2.根據權利要求1所述的折反射投射物鏡，其中所述抗反射涂層(337、437、537)包括至少6層(339、341、343、345、347、349、351；439、441、443、445、447、449、451；539、541、543、545、547、549、551、553)，該6層由具有高折射率的材料和具有低折射率的材料交替構成。

3.根據權利要求2所述的折反射投射物鏡，其中具有低折射率的所述材料是選自由氟化鎂、氟化鋁、氟化鈉、氟化鋰、氟化鈣、氟化鋇、氟化鍶、冰晶石、錐冰晶石及其組合構成的組的電介質材料。

4.根據權利要求2或3所述的折反射投射物鏡，其中具有高折射率的所述材料是選自由氟化釹、氟化鑭、氟化釓、氟化鏑、氧化鋁、氟化鉛、氟化釔及其組合構成的組的電介質材料。

5.根據權利要求1到4中任一項所述的折反射投射物鏡，其中至少一個表面偏離邊緣光線同心度小于20°，

其中如果在物面中從光軸出射且在像面中具有與最大數值孔徑相對應的入射角的邊緣光線在所述透鏡表面處具有0°的入射角，則具有邊緣光線同心度。

6.一種用于微光刻的折反射投射物鏡(1101、1601、1701)，用于將物面(1105、1605、1705)中的物場(1103、1603、1703)成像到像面(1109、1609、1709)中的像場(1107、1607、1707)，其包括：

第一分物鏡(1111、1611、1711)，將所述物場成像到實的第一中間像(1113、1613、1713)上；

第二分物鏡(1115、1615、1715)，將所述第一中間像成像到實的第二中間像(1117、1617、1717)上；以及

第三分物鏡(1119、1619、1719)，將所述第二中間像成像到所述像場上，

其中所述第二分物鏡是恰具有一個凹面鏡(1121、1621、1721)且具有至少一個透鏡(L1111、L1611、L1712)的折反射物鏡，并且

其中第一折疊鏡(1123、1623、1723)和第二折疊鏡(1125、1625、1725)被提供，所述第一折疊鏡用于使從所述物面出射的光線偏向所述凹面鏡的方向，所述第二折疊鏡用于將從所述凹面鏡出射的光線偏向所述像面的方向，

其特征在于：

所述第二分物鏡(1115、1615、1715)的所述透鏡(L1111、L1611、L1712)的所有表面被構造為偏離所述邊緣光線同心度大于或等于20°，

其中如果在所述物面中從所述光軸出射且在所述像面中具有與最大數值孔徑相對應的入射角的邊緣光線在所述透鏡表面處具有0°的入射角，則具有邊緣光線同心度。

7.根據權利要求6所述的折反射投射物鏡，其中所述第二分物鏡恰具有一個透鏡(L1111、L1611、L1712)。