[發明專利]圓片的二氧化硅腐蝕方法無效
| 申請號： | 201010253487.6 | 申請日： | 2010-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN101906667A | 公開（公告）日： | 2010-12-08 |
| 發明（設計）人： | 張春華;張馨月 | 申請（專利權）人： | 無錫春輝科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 許方 |
| 地址： | 214024 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 二氧化硅 腐蝕 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種圓片的二氧化硅腐蝕方法，其特征在于所述方法如下：
通過加熱絲將腐蝕液溫度控制在36～40℃，然后將圓片放入腐蝕液內腐蝕8～12分鐘，最后將圓片烘干，其中，所述腐蝕液為NH4F，所述圓片為氧化后的硅片。
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