[發明專利]圓片的光刻方法無效
| 申請號： | 201010253479.1 | 申請日： | 2010-08-13 |
| 公開（公告）號： | CN101963764A | 公開（公告）日： | 2011-02-02 |
| 發明（設計）人： | 張春華;張馨月 | 申請（專利權）人： | 無錫春輝科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 許方 |
| 地址： | 214024 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種圓片的光刻方法，其特征在于包括如下步驟：將圓片放入光刻機，光刻機的汞光燈強8～12mw/cm2、曝光時間3～6秒，所述圓片為勻膠后的硅片。
2.根據權利要求1所述的圓片的光刻方法，其特征在于所述光刻機為北京四十五所生產的401A型。?
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