[發(fā)明專利]利用三坐標測量機檢測大口徑非球面光學元件的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010253138.4 | 申請日： | 2010-08-12 |
| 公開（公告）號： | CN101943559A | 公開（公告）日： | 2011-01-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 范斌;伍凡;曾志革;周家斌;景洪偉;匡龍 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院光電技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G01B5/008 | 分類號： | G01B5/008 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 梁愛榮 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 利用 坐標 測量 檢測 口徑 球面 光學 元件 方法 | ||
1.一種利用三坐標測量機檢測大口徑非球面光學元件的方法，其特征在于：該方法通過以下步驟完成：
步驟S1：利用三坐標測量機，獲得被檢大口徑非球面光學元件主鏡的面形徑向矢高原始數(shù)據(jù)；
步驟S2：利用面形徑向矢高原始數(shù)據(jù)對三坐標測量機的三坐標測頭進行補償預處理，得到補償預處理的徑向矢高數(shù)據(jù)；
步驟S3：對補償預處理的徑向矢高數(shù)據(jù)采用最小二乘法進行最優(yōu)擬合，由擬合數(shù)據(jù)剔除面形中各條徑向矢高數(shù)據(jù)的傾斜誤差和平移誤差；
步驟S4：再由格蘭姆-施密特(Gram-Schmidt)正交化方法對大口徑非球面光學元件的主鏡面形徑向矢高數(shù)據(jù)進行澤尼克(Zernike)多項式擬合，剔除系數(shù)中的常數(shù)項和傾斜項，得到誤差處理后的數(shù)據(jù)；
步驟S5：由誤差處理后的數(shù)據(jù)復原被檢測的大口徑非球面光學元件面形，所述面形復原就是把測量點的數(shù)據(jù)按坐標x、y、z顯示被檢測的大口徑非球面光學元件面形失高，從而確定理論大口徑非球面光學元件面形與被檢測大口徑非球面光學元件面形偏差的峰谷值和均方根值，以確定被檢測大口徑非球面光學元件是否符合要求。
2.如權(quán)利要求所述利用三坐標測量機檢測大口徑非球面光學元件的方法，其特征在于，所述補償預處理需要利用三坐標x、y、z測量的失高數(shù)據(jù)對三坐標測頭半徑進行補償，剔除由三坐標測頭半徑引起的誤差；通過測量三坐標測量機三坐標測頭接觸點壓力的方向測量出該點的法線方向n(dx，dy，dz)，然后利用原始數(shù)據(jù)對三坐標測頭進行了補償如公式示出：
其中為三坐標測頭與非球面鏡鏡面的實際接觸點距o點的位置、為測頭中心距o點的位置、為因三坐標測頭中心和實際測量點偏差而根據(jù)測頭半徑計算的補償量。
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