[發(fā)明專利]一種信號(hào)歸一化掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010250440.4
• 申請(qǐng)日: 2010-08-11
• 公開（公告）號(hào): CN102375351A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李運(yùn)鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F9/00
• 分類號(hào): G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種用于光刻設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，用于確定第一物件相對(duì)于第二物件的位置關(guān)系，該系

統(tǒng)包括：

照明模塊，用于提供對(duì)準(zhǔn)照明輻射；

標(biāo)記模塊，包括透射式標(biāo)記和參考標(biāo)記；

投影模塊，用于對(duì)透射式標(biāo)記進(jìn)行成像；

光強(qiáng)測(cè)量模塊，用于采集透射式標(biāo)記的像掃描過參考標(biāo)記時(shí)透過的原始光強(qiáng)數(shù)據(jù)；

位置測(cè)量模塊包括掩模臺(tái)測(cè)量子模塊和工件臺(tái)測(cè)量子模塊，分別用于測(cè)量與采集掩模臺(tái)位置數(shù)據(jù)和工件臺(tái)位置數(shù)據(jù)；

能量探測(cè)模塊，用于探測(cè)和采集照明模塊的能量數(shù)據(jù)；

其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)利用所述能量數(shù)據(jù)、原始光強(qiáng)數(shù)據(jù)、掩模臺(tái)位置數(shù)據(jù)、工件臺(tái)位置數(shù)據(jù)經(jīng)處理后獲得對(duì)準(zhǔn)位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述能量探測(cè)模塊位于照明模塊的內(nèi)部或照明模塊與投影模塊之間，或位于投影模塊與工件臺(tái)之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述照明模塊提供紫外光和極紫外光進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)照明輻射。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述光強(qiáng)測(cè)量模塊中含一集成傳感器，所述集成傳感器內(nèi)包含有光子晶體，所述光子晶體將透過所述參考標(biāo)記的紫外光或極紫外光轉(zhuǎn)換為可見波長(zhǎng)段的熒光，并被集成傳感器內(nèi)的光電探測(cè)器探測(cè)，生成電信號(hào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述能量探測(cè)模塊內(nèi)置有光子晶體，將紫外波長(zhǎng)的激光脈沖或連續(xù)光束轉(zhuǎn)換為可見波長(zhǎng)段的熒光，然后通過光電探測(cè)器探測(cè)熒光的能量。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，照明模塊提供可見光進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)照明輻射。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述光強(qiáng)測(cè)量模塊中含一集成傳感器，通過集成傳感器內(nèi)的光電探測(cè)器直接探測(cè)透過參考標(biāo)記的光強(qiáng)，生成電信號(hào)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，通過所述能量探測(cè)模塊內(nèi)的光電探測(cè)器直接探測(cè)可見光的能量。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述透射式標(biāo)記和參考標(biāo)記均包括分支標(biāo)記和歸一化標(biāo)記。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，在所述光強(qiáng)測(cè)量模塊中，各分支標(biāo)記和歸一化標(biāo)記透過的原始光強(qiáng)通過相互獨(dú)立的通道采集。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述透射式標(biāo)記的分支標(biāo)記成像到所述參考標(biāo)記的分支標(biāo)記上，所述透射式標(biāo)記的歸一化標(biāo)記成像到所述參考標(biāo)記的歸一化標(biāo)記上。