[發明專利]探針單元及使用該探針單元的測試裝置

有效

• 申請號: 201010250319.1
• 申請日: 2010-08-04
• 公開（公告）號: CN101988932A
• 公開（公告）日: 2011-03-23
• 發明（設計）人: 久我智昭;廣田英輝
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種探針單元，其中，

該探針單元包括：探針基座，其為板狀；支承臺，其配置在該探針基座上；探針裝置，其被支承在該支承臺上，且具有多個具有前端針尖和后端針尖的探針；電連接件，其自該探針裝置向后方延伸，且具有多條沿前后方向延伸的布線，各布線的前端部與上述后端針尖相連接；

上述支承臺具有向前方、后方以及下方敞開的空間；

上述電連接件的后部側的區域被引導向上述探針基座的上側、并經過上述支承臺的上述空間而延伸。

2.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

利用主體部和腿部將上述支承臺的正面形狀形成為門形，上述主體部為沿左右方向延伸的板狀、且上述探針裝置安裝在該主體部上，上述腿部自主體部的左右方向各端部向下方延伸。

3.根據權利要求2所述的探針單元，其中，

上述腿部中的一個腿自上述主體部的前端向左右方向中的一側突出，上述腿部中的另一個腿自上述主體部后端向左右方向中的另一側突出，由此將上述支承臺的平面形狀形成為曲柄狀。

4.根據權利要求2所述的探針單元，其中，

利用螺栓構件將上述支承臺安裝在上述探針基座上，該螺栓構件沿上下方向貫穿上述探針基座和上述腿部中的任意一個而與上述探針基座和上述腿部中的另一個螺紋連接。

5.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

該探針單元包括多個上述支承臺、和多個被分別支承在該支承臺上的上述探針裝置。

6.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

該探針單元具有多個被支承在共用的上述支承臺上的上述探針裝置。

7.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

該探針單元還包括中繼基板，該中繼基板配置在上述探針基座的上側、且與上述電連接件的布線的后端部電連接。

8.根據權利要求7所述的探針單元，其中，

利用連接器使上述電連接件的后端部與上述中繼基板電連接。

9.根據權利要求7所述的探針單元，其中，

上述中繼基板在向后上方傾斜地延伸的狀態下配置在上述探針基座的上側，利用連接器以及與該連接器相連接的線纜使上述電連接件的后端部與上述中繼基板電連接。

10.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

上述探針裝置包括：探針裝配體，其在探針保持體的下側配置有上述多個探針；第1支承裝置，其用于支承該探針裝配體；第2支承裝置，其用于支承該第1支承裝置、且該第2支承裝置安裝在上述支承臺上；

上述電連接件自上述探針裝配體的后端部向后延伸。

11.根據權利要求10所述的探針單元，其中，

上述電連接件經過上述第1支承裝置的下部而向后延伸，且自上述探針基座的前端部被引導向上述探針基座的上側。

12.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

上述電連接件包括：第1布線區域，其具有多條沿前后方向延伸的第1布線、且使各第1布線的前端部與上述探針的后端針尖相連接；第2布線區域，其具有多條沿前后方向延伸的第2布線、且使各第2布線的前端部與上述第1布線的后端部相連接，且在上述第2布線區域處，上述電連接件被引導向上述探針基座的上側并經過上述支承臺的上述空間。

13.根據權利要求12所述的探針單元，其中，

上述第1支承裝置包括：支承塊，其被支承在上述第2支承裝置上；結合塊，其安裝在該支承塊上，上述探針裝配體組裝在該結合塊的前部下側且上述第1布線區域配置在該結合塊的下側；連接塊，其配置在上述支承塊的后部下側與上述結合塊的后部上側之間、且該連接塊安裝在上述支承塊上，上述第2布線區域的前端部配置在該連接塊的下側；

上述第1布線區域的后端部在上述結合塊的后端處自該結合塊的下側翻折到上側，從而使該第1布線區域的各布線與上述第2布線區域的布線相連接。

14.根據權利要求1所述的探針單元，其中，

上述電連接件具有薄片狀的布線連接用具。

15.一種測試裝置，其中，

該測試裝置包括：基座；工作臺，其被支承在該基座上、且該工作臺具有用于承載平板狀被檢查體的承載部；探針單元，其為權利要求1所述的探針單元、且探針單元配置在上述基座上；單元支承機構，其將該探針單元支承在上述基座上；

該單元支承機構包括：第1移動體，其能在與上述被檢查體平行的XY面內沿前后方向移動地被上述基座承載、且該第1移動體在上述XY面內沿左右方向延伸；第2移動體，其能沿傾斜的上下方向移動地與上述第1移動體結合、且該第2移動體沿左右方向延伸；止擋件，其限定上述第2移動體的最大前進位置；探針移位機構，其用于使上述第1移動體相對于被檢查體進退，以使上述第2移動體沿前后方向移動并沿上下方向移位；

上述探針單元被支承在上述第2移動體上。