[發明專利]襯底鍵合設備無效
| 申請號： | 201010250247.0 | 申請日： | 2008-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN101916003A | 公開（公告）日： | 2010-12-15 |
| 發明（設計）人： | 黃載錫 | 申請（專利權）人： | 愛德牌工程有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1333 | 分類號： | G02F1/1333;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 黨曉林 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種襯底鍵合設備，該襯底鍵合設備包括：
具有接收表面的板，所述接收表面接收固定在其上面的襯底；
在所述板的所述接收表面設置的多個夾持件，其中，所述多個夾持件保持位于所述板的所述接收表面上的所述襯底的匹配表面；以及
襯底分離器，所述襯底分離器包括位于所述板上的相鄰夾持件之間的膨脹件，
其中，所述膨脹件接收來自外部源的氣體并向所述襯底施加相應的壓力以從所述多個夾持件分離所述襯底。
2.如權利要求1所述的襯底鍵合設備，其中，所述襯底分離器進一步包括：
里面形成有通孔的基底塊，其中，所述膨脹件的相對兩端固定到所述基底塊；以及
向所述通孔的第一端供給氣體的氣體供給器，其中，所述通孔將氣體從所述第一端傳送到位于所述通孔第二端的所述膨脹件。
3.如權利要求1所述的襯底鍵合設備，其中，所述膨脹件為膜片。
4.如權利要求1所述的襯底鍵合設備，其中，所述襯底分離器還包括：熱絲，該熱絲沿著一通道安裝，通過該通道供給所述空氣，以加熱所述空氣從而使所述空氣快速膨脹。
5.如權利要求1所述的襯底鍵合設備，其中，所述膨脹件按照基本平行于所述板的所述接收表面延伸的桿狀形成。
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