[發明專利]硅拋光片的慢提拉紅外干燥工藝無效
| 申請號： | 201010249534.X | 申請日： | 2010-08-10 |
| 公開（公告）號： | CN101975506A | 公開（公告）日： | 2011-02-16 |
| 發明（設計）人： | 焦志鵬;徐榮清;吳曉明 | 申請（專利權）人： | 天津中環領先材料技術有限公司 |
| 主分類號： | F26B7/00 | 分類號： | F26B7/00;F26B3/30;H01L21/00 |
| 代理公司： | 天津中環專利商標代理有限公司 12105 | 代理人： | 王鳳英 |
| 地址： | 300384 天津市濱海高*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光 慢提拉 紅外 干燥 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅拋光片的慢提拉紅外干燥工藝，其特征在于：硅拋光片的提拉速度設定在1～2mm/s范圍內。
2.根據權利要求1所述的硅拋光片的慢提拉紅外干燥工藝，其特征在于：硅拋光片的紅外干燥溫度設定在100-120℃范圍內；紅外干燥時間設定在1～2min范圍內。
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