[發明專利]易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器

有效

• 申請號: 201010248136.6
• 申請日: 2010-07-30
• 公開（公告）號: CN101924451A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 王佩紅;劉慧婷;楊卓青
• 申請（專利權）人: 安徽大學
• 主分類號: H02K35/02
• 分類號: H02K35/02
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，包括有襯底、絕緣層、線圈、電極、彈簧平臺、支撐座和永磁體，其特征在于：所述襯底上表面附著有線圈，所述線圈的首尾兩端分別與二個電極相連接，所述襯底上表面覆蓋有絕緣層，所述絕緣層將所述的線圈包覆在其中，所述二個電極位于絕緣層之上；所述絕緣層的上表面附著有多個支撐座，多個支撐座上架裝有彈簧平臺，所述的彈簧平臺位于所述線圈的正上方，并與所述的線圈之間有間隙，所述彈簧平臺上固定連接有永磁體。

2.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的襯底為石英或玻璃。

3.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的線圈采用在襯底上表面通過電鍍銅或金的方式形成，所述的線圈為單層導體環繞或首尾相互連接的多層導體環繞結構，其中單層線圈的厚度為2～20微米。

4.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的二個電極采用在絕緣層上通過電鍍銅或金的方式形成，其面積分別為(400～500)×(600～800)平方微米，厚度分別為10～30微米。

5.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述絕緣層為聚酰亞胺、PMMA或SU-8膠柔性不導電聚合物層，厚度為5～200微米。

6.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的多個支撐座在絕緣層上表面分別通過電鍍銅或鎳的方式形成，各個支撐座的面積分別為(50～100)×(100～500)平方微米，高度分別為50～1000微米。

7.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的彈簧平臺為由通過電鍍鎳或銅等金屬形成的四個或多個螺旋型彈性臂和中間的平臺構成，彈簧片的厚度分別為5～50微米，彈性臂寬度分別為10～200微米，彈簧平臺的中心面積為(200～2000)×(200～2000)平方微米。

8.根據權利要求1所述的易于集成制造的高性能微型電磁式振動能量采集器，其特征在于：所述的永磁體是通過將永磁粉與粘結劑的混合體壓制在圖形化結構凹坑內，并集成制造在所述的彈簧平臺上，可以是單個的立方體，或者為陣列結構，當永磁體為單個立方體時，其面積為(200～2000)×(200～2000)平方微米，厚度為10～800微米；當為永磁體為3×3陣列結構時，各個部分的面積大小為(10～120)×(120～300)平方微米，厚度為10～800微米，行間距為10～30微米，列間距為10～30微米。