[發明專利]一種換能器薄膜的制作方法無效
| 申請號： | 201010247775.0 | 申請日： | 2010-08-06 |
| 公開（公告）號： | CN102378100A | 公開（公告）日： | 2012-03-14 |
| 發明（設計）人： | 李冬梅;劉明;謝常青;葉甜春;閻學鋒;霍宗亮;龍世兵;張滿紅 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H04R31/00 | 分類號： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 周國城 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 換能器 薄膜 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種換能器薄膜的制作方法，其特征在于，該方法采用磁控共濺射或激光濺射方式將鋁鈦鉻合金材料一次成膜，形成金屬換能器。
2.根據權利要求1所述的換能器薄膜的制作方法，其特征在于，所述鋁鈦鉻合金材料組成為金屬鈦為3％至10％，金屬鉻為1％至2％，其余為金屬鋁。
3.根據權利要求1所述的換能器薄膜的制作方法，其特征在于，所述一次成膜時，膜厚范圍在30nm至S000nm之間。
4.根據權利要求1所述的換能器薄膜的制作方法，其特征在于，所述金屬換能器為聲表面波諧振器或延遲線。
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