[發(fā)明專利]一種復(fù)合型波帶片光子篩

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010247543.5
• 申請日: 2010-08-06
• 公開（公告）號: CN102375169A
• 公開（公告）日: 2012-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝常青;潘一鳴;朱效立;賈佳;劉明
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，包括透光襯底和鍍在其上的不透光的金屬薄膜，所述不透光的金屬薄膜上分布有一系列透光環(huán)帶和若干透光小孔。

2.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，所述透光襯底采用透光材料制作而成，該透光材料為熔融石英、普通玻璃或有機(jī)玻璃。

3.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，所述不透光的金屬薄膜采用鉻、金、鋁或銅制作而成，所述不透光的金屬薄膜的厚度大于80nm。

4.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，所述一系列透光環(huán)帶為平面式環(huán)帶，每一透光環(huán)帶的中心半徑為r_n，寬度為w_n，其中r_n²＝2nfλ+n²λ²，w_n＝λ/2r_n，其中λ為波長，f為焦距。

5.如權(quán)利要求1所述的復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，所述若干透光小孔為隨機(jī)分布的若干平面式透光小孔，其分布在中心半徑為r_n，寬度為w_n的環(huán)帶上，所述平面式透光小孔之間不重疊；所述平面式透光小孔的圓心分布在環(huán)帶中心半徑r_n上，其中r_n²＝2nfλ+n²λ²，對應(yīng)r_n上的平面式透光小孔的直徑為：d_m＝w_m＝λ/2r_m，其中λ為波長，f為焦距。

6.如權(quán)利要求4或5所述的復(fù)合型波帶片光子篩，其特征在于，該復(fù)合型波帶片光子篩由若干環(huán)位置隨機(jī)分布的透光小孔組成，并且在其內(nèi)部2/3部分嵌入一系列透光環(huán)帶。