[發(fā)明專利]蝕刻氣體的控制系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010247286.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-07-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102004500A | 公開（公告）日： | 2011-04-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高誠(chéng)庸;金珉植;李炳日;文熙錫;李洸旼;金起鉉;李元默 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G05D7/06 | 分類號(hào)： | G05D7/06;C23F1/08;C23F1/12 |
| 代理公司： | 廣州弘邦專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44236 | 代理人： | 張釔斌 |
| 地址： | 韓國(guó)京畿道水原市靈通*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 蝕刻 氣體 控制系統(tǒng) | ||
1.一種蝕刻氣體的控制系統(tǒng)，其特征在于包括：
一個(gè)質(zhì)量流量控制單元，它控制那些輸入到內(nèi)室中的蝕刻氣體的質(zhì)量流量；
一個(gè)流率控制單元，它將蝕刻氣體輸配給一個(gè)頂部氣體注射器和一個(gè)側(cè)部氣體注射器，其中這兩個(gè)注射器分別與質(zhì)量流量控制單元相連，并均安裝在內(nèi)室中；和
一個(gè)調(diào)節(jié)氣體控制單元，它將一種外加氣體和調(diào)節(jié)氣體分別輸配補(bǔ)充給質(zhì)量流量控制單元和流率控制單元，其中所述的外加氣體和調(diào)節(jié)氣體會(huì)控制內(nèi)室中等離子體的離子密度和分布。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的流率控制單元包括一個(gè)流率控制器和一個(gè)氣體輸配管，
其中所述的氣體輸配管包括：
若干個(gè)輸出管；
從輸出管一側(cè)分支出來、并分別與頂部氣體注射器的中部噴嘴和側(cè)部噴嘴相連的第一和第二補(bǔ)充管；和
從輸出管另一側(cè)分支出來、并分別與頂部氣體注射器和側(cè)部氣體注射器的側(cè)部噴嘴相連的第三和第四補(bǔ)充管。
3.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的第二和第三補(bǔ)充管與一個(gè)第五補(bǔ)充管連成一體后與頂部氣體注射器的側(cè)部噴嘴相連。
4.如權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于第一、第二、第三和第四補(bǔ)充管以及質(zhì)量流量控制單元中設(shè)置的輸出管均安裝了開關(guān)閥門。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的調(diào)節(jié)氣體控制單元包括：
一個(gè)向質(zhì)量流量控制單元補(bǔ)充外加氣體的外加氣體補(bǔ)充器；和
一個(gè)向流率控制器補(bǔ)充調(diào)節(jié)氣體的調(diào)節(jié)氣體補(bǔ)充器。
6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的調(diào)節(jié)氣體控制單元包括若干個(gè)調(diào)節(jié)氣體流動(dòng)控制器，它們會(huì)分別補(bǔ)充一種或多種不同的調(diào)節(jié)氣體。
7.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的調(diào)節(jié)氣體補(bǔ)充器包括：
一個(gè)補(bǔ)充等離子體活性氣體的第一調(diào)節(jié)氣體流量控制器；和
一個(gè)補(bǔ)充外加蝕刻氣體的第二調(diào)節(jié)氣體流量控制器。
8.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的外加氣體補(bǔ)充器通過一根第六補(bǔ)充管與質(zhì)量流量控制單元的輸出管相連，所述的第一調(diào)節(jié)氣體流量控制器和第二調(diào)節(jié)氣體流量控制器通過一根第七補(bǔ)充管與氣體輸配管相連。
9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的流率控制單元包括一個(gè)流率控制器和一個(gè)氣體輸配管，
其中所述的氣體輸配管包括：
若干根輸出管；
從輸出管一側(cè)分支出來、并分別與頂部氣體注射器的中部噴嘴和側(cè)部噴嘴相連的第一和第二補(bǔ)充管；和
從輸出管另一側(cè)分支出來、并分別與側(cè)部噴嘴和側(cè)部氣體注射器相連的第三和第四補(bǔ)充管，
其中所述的第二和第三補(bǔ)充管與第五補(bǔ)充管連成一體后與側(cè)部噴嘴相連，并且
其中所述的第七補(bǔ)充管安裝了一個(gè)分支點(diǎn)(D)，該分支點(diǎn)(D)安裝了多根分別與第一、第四和第五補(bǔ)充管相連的分支管。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于分別在第一調(diào)節(jié)氣體流量控制器、第二調(diào)節(jié)氣體流量控制器和分支管中設(shè)置的輸出管均安裝了開關(guān)閥門。
11.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的第六補(bǔ)充管安裝了一個(gè)分支點(diǎn)(C)，此外該第六補(bǔ)充管還設(shè)有一根連接管，該連接管連接了分支點(diǎn)(C)和第七補(bǔ)充管。
12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于分別從分支點(diǎn)(C)和連接管中分支出來的第六補(bǔ)充管安裝了開關(guān)閥門。
13.如權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于所述的活性氣體是氧氣(O2)或氮?dú)?N2)。
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