[發明專利]液體余液回收裝置及回收方法有效
| 申請號: | 201010244229.1 | 申請日: | 2010-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN101976706A | 公開(公告)日: | 2011-02-16 |
| 發明(設計)人: | 肖列;吳而義;趙美鋒 | 申請(專利權)人: | 無錫尚德太陽能電力有限公司;洛陽尚德太陽能電力有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
| 地址: | 214028 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 液體 回收 裝置 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種主要應用在光伏電池制造領域內使余液得以回收的裝置,尤其是一種液體余液回收裝置及回收方法。
背景技術
目前,在太陽能電池生產過程中的擴散工藝需要用到三氯氧磷作為擴散源,由于三氯氧磷液體具有較高的飽和蒸汽壓,在進行擴散工藝時,由氮氣等惰性氣體進入裝有三氯氧磷的源瓶并攜帶汽化的三氯氧磷進入擴散爐。
如圖1所示,裝有三氯氧磷的源瓶包括短管閥V1和長管閥V2,短管閥V1通過短管P1連接至瓶體,長管閥V2通過長管P2連接至瓶體,該長管P2伸入瓶內腔底部且沒入液體中,短管閥V1和長管閥V2分別具有對應的出入口G1和G2。在進行擴散工藝時,將氮氣等惰性氣體連接至長管閥V2的出入口G2,將短管閥V1的出入口G1連通至擴散爐管,開啟短管閥V1和長管閥V2后,惰性氣體從長管閥V2進入源瓶并對瓶內的三氯氧磷液體進行鼓泡,三氯氧磷的飽和蒸汽壓較高易汽化,汽化后的三氯氧磷就由惰性氣體攜帶至擴散爐管。
為保持工藝的穩定性和連續性,通常會出現源瓶中的三氯氧磷未用完而殘留的狀況,三氯氧磷為劇毒且其易揮發,將其閥門打開采用人工方式將源瓶中的三氯氧磷進行回收利用非常不安全。為提高三氯氧磷的使用效率且避免其殘留浪費,現有技術中采用向瓶中放入特氟隆小塊等填充物的方式或將源瓶傾斜的方式,但該兩種方并未解決三氯氧磷液體殘留的問題,并且還會帶來其他問題,前種方式不利于源瓶后期的清潔和維護,后種方式需要改變所對應的保溫裝置的設計,從而增大了成本。
因此,如何提供一種液體余液回收裝置及回收方法以將源瓶中殘留的三氯氧磷等液體進行回收利用,從而降低生產成本。
發明內容
本發明的目的之一是克服現有技術中存在的不足,提供一種可以把用不完的原液通過轉移匯聚重新利用,以提高18%左右的利用率,節省生產成本的液體余液回收裝置。
本發明的另一目的是提供一種使用液體余液回收裝置進行余液回收的方法。
按照本發明提供的技術方案,所述液體余液回收裝置,包括主液瓶,主液瓶上固定設置有主液瓶短管閥與主液瓶長管閥,主液瓶短管閥通過短管連接至瓶體,并具有出入口,主液瓶長管閥通過長管連接至瓶體,所述長管伸入主液瓶的瓶內腔底部,還包括:
回收瓶,其上固定設置有回收瓶短管閥與回收瓶長管閥,回收瓶短管閥上設置有出入口,回收瓶的最高容許液面低于或等于主液瓶的瓶底;
連接管,其一端與主液瓶長管閥的出入口相連接,另一端與回收瓶長管閥的出入口相接;以及
驅動器,其用于提供液體由主液瓶流向回收瓶的原動力。
所述回收瓶長管閥通過長管連接至瓶體,該長管伸入回收瓶的瓶內腔底部。
所述驅動器為吸液器或壓液器,吸液器連接至回收瓶短管閥的出入口,壓液器連接至主液瓶短管閥的出入口。
使用上述液體余液回收裝置的液體余液回收方法包括以下步驟:
a、將連接管一端連至主液瓶長管閥的出入口,另一端連至回收瓶長管閥的出入口;
b、使回收瓶的最高容許液面低于或等于主液瓶的瓶底;
c、開啟主液瓶短管閥與主液瓶長管閥以及回收瓶短管閥與回收瓶長管閥;
d、提供液體由主液瓶流向回收瓶的原動力。
在步驟d中,通過開啟連接至回收瓶出入口的吸液器提供液體由主液瓶流向回收瓶的原動力。
在步驟d中,通過開啟連接至主液瓶出入口的壓液器提供液體由主液瓶流向回收瓶的原動力。
本發明可以方便地把用不完的原液通過轉移匯聚重新利用,以提高利用率,避免浪費,而且本發明具有結構簡單、操作方便、余液轉移徹底等優點。
附圖說明
圖1是背景技術介紹的源瓶的結構示意圖。
圖2是本發明的液體余液回收裝置的整體結構示意圖。
圖3是本發明的液體余液回收方法的流程圖。
具體實施方式
下面結合具體附圖和實施例對本發明作進一步說明。
如圖所示:所述液體余液回收裝置,包括主液瓶1,主液瓶1上固定設置有主液瓶短管閥1.1與主液瓶長管閥1.2,主液瓶短管閥1.1通過短管連接至瓶體,并具有出入口1.3,主液瓶長管閥1.2通過主液瓶長管1.4連接至瓶體,該長管伸入主液瓶1的瓶內腔底部,還包括:
回收瓶3,其上固定設置有回收瓶短管閥3.1與回收瓶長管閥3.2,回收瓶短管閥3.1上設置有出入口3.3,回收瓶3的最高容許液面低于或等于主液瓶1的瓶底;
連接管2,其一端與主液瓶長管閥1.2的出入口相連接,另一端與回收瓶長管閥3.2的出入口相接;以及
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





