[發明專利]用于制造平板顯示器的裝置有效
| 申請號： | 201010244116.1 | 申請日： | 2005-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN101937839A | 公開（公告）日： | 2011-01-05 |
| 發明（設計）人： | 金東范 | 申請（專利權）人： | 三星電子株式會社 |
| 主分類號： | H01L21/20 | 分類號： | H01L21/20;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 余剛;李丙林 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 制造 平板 顯示器 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于制造平板顯示器的裝置，包括：
顯示面板移動單元，包括：
框架，導軌設置于其上；
導向器，用于沿著所述導軌移動
空氣軸承，設置于所述導軌和所述導向器之間，從而所述導向器定位于離開所述導軌預定距離的位置處；以及
顯示面板臺，安裝于所述導向器，
其中所述顯示面板臺包括設置于其邊緣上的空氣流導向器，從而主要防止由所述空氣軸承產生的空氣流流過所述臺的上方，所述空氣流導向器朝向所述框架傾斜。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
