[發(fā)明專利]一種離子注入機的低能注入模式切換器制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010243467.0
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN102522302A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐景庭;伍三忠;孫勇;李濤
• 申請（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/302;H01J37/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及低能注入模式切換器的制造方法。進一步地，本發(fā)明涉及簡單而且經(jīng)濟的氣缸制造方法。屬于半導(dǎo)體器件制造裝備領(lǐng)域。?

背景技術(shù)

在離子注入工藝中，根據(jù)注入元素的不同，要求的電離能量也是差距極大，尤其在在四方位注入中，靶臺上待注人的晶片自轉(zhuǎn)45°注入一次，既要保證注入質(zhì)量，還要盡可能高效率就成了必須解決的問題。由于是能量轉(zhuǎn)換，安全因素必須考慮，離子注入工藝中通常要加幾十-幾百kv電壓，所以用氣動控制器來調(diào)節(jié)能量是最安全的方法。根據(jù)能量要求，只需控制線路開關(guān)來啟動或關(guān)閉低能電源，從而達到電離不同元素的目的。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明公開一種簡單、經(jīng)濟的低能注入模式切換器的制造方法。?

一種低能注入模式切換器的制造方法包括：一個絕緣桶，兩端用金屬蓋封閉，由密封圈密封。其中一個金屬蓋裝有收線器并且開有送氣口，收線器和活塞桿由鋼絲相連，另一個金屬蓋通過螺紋與切換器上蓋相連。由送氣口充氣時，活塞升到上蓋一端，停止送氣后由收線器把活塞拉回到下蓋一端，從而達到控制線路閉合和導(dǎo)通的目的。?

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明專利的限定。?

圖1是滑動密封組件示意圖。?

圖2是三維滑動密封組件剖視圖。?

圖3是三維組件頂端局部放大視圖。?

具體實施方式

圖1是滑動密封組件示意圖，部件包括：頂蓋1，連接端2，彈簧3，擋柱?4，上蓋5，切換器桶6，活塞7，活塞桿8，鋼絲9，下蓋10，收線器11，磁鐵12，磁力開關(guān)13.?

所述頂蓋1使用絕緣材料PP，頂蓋1與連接端2用螺釘連接。?

所述連接端2內(nèi)開有內(nèi)腔，彈簧3一端與連接端2內(nèi)腔相連，另外一端與擋柱4相連，起對活塞7緩沖作用。?

所述連接端2與上蓋5螺紋連接，上蓋5開有放氣口。?

所述上蓋5與切換器桶6用螺釘連接，上蓋5與切換器桶6之間裝有O型密封圈。?

所述切換器桶6內(nèi)裝有活塞7，切換器桶6材料為PP，活塞7材料為PDEF，以保證絕緣性能和耐磨，抗壓性能。?

所述活塞7通過活塞桿8和鋼絲9與收線器11相連。?

所述收線器11用于使活塞7在切換器停止供氣時更快的回到下蓋一端。?

所述收線器11與下蓋10用軸間螺釘相連。下蓋10開有送氣口，用于控制活塞位置。?

所述下蓋10與切換器桶6用螺釘連接，下蓋10與切換器桶6之間裝有O型密封圈。?

所述活塞7上裝有磁鐵12，通過磁性開關(guān)13確定活塞7位置。?

以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應(yīng)的法律責任。?