[發明專利]利用電子散斑相移技術測量物體三維面形的方法及其系統

無效

• 申請號: 201010242648.1
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN101915559A
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發明（設計）人: 孫平;趙瑞東
• 申請（專利權）人: 山東師范大學
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 濟南圣達專利商標事務所有限公司 37221
• 代理人: 王吉勇

1.一種利用電子散斑相移技術測量物體三維面形的方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將被測物體固定在一參考平面上，參考平面與一相移器連接，參考平面大于被測物體，參考平面能夠在豎直平面內做小于5度角的轉動；

2)將被測物體連同參考平面一起做小于5度角的偏轉，利用光的干涉，在被測物體表面產生明暗相間的干涉條紋，即通過物體的偏轉利用電子散斑干涉在物體表面產生干涉條紋；

3)通過相移器對被測物體表面施加相移使物光的光程發生改變，進而引起參考光和物光的相位差的改變，對步驟2)得到的彎曲的干涉條紋做等四步相移，這些明暗相間的干涉條紋會根據所加相移的大小做相應的平移，利用相移技術提取出物面的相位信息，得到包裹相位圖，由于相位被包裹在(-π，π)之間，用相位展開算法把相位連續化求出被測物體的真實相位；根據相位和高度的映射關系得出物面的高度分布，從而得到物體的面形。

2.一種利用電子散斑相移技術測量物體三維面形的系統，其特征在于：其包括激光器、相移器和攝像頭，各元器件位置關系如下：激光器與半透反射鏡I相對應，半透反射鏡I分別與擴束鏡I和反射鏡I相對應，反射鏡I、反射鏡II和反射鏡III依次相對應，反射鏡III與擴束鏡II相對應，擴束鏡II與半透反射鏡II相對應，半透反射鏡II與攝像頭相對應；擴束鏡I與設置于參考平面上的被測物體相對應，參考平面與一相移器連接，被測物體與透鏡相對應，透鏡與半透反射鏡II相對應。