[發明專利]一種去除工業硅中硼的方法

無效

• 申請號: 201010242101.1
• 申請日: 2010-07-29
• 公開（公告）號: CN101913608A
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發明（設計）人: 譚毅;姜大川;董偉;顧正;彭旭
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 關慧貞

1.一種工業硅除硼的方法，其特征在于，用將工業硅料(4)放入純度為99.9％以上的石英環(5)中，在電子束(1)作用下熔煉，利用高真空度將氧化硼去除，具體步驟如下：

先將工業硅料(4)放入石英環(5)中；再將石英環(5)放入水冷銅坩堝(7)中，關閉真空裝置蓋(2)；用機械泵(6)、羅茲泵(8)將真空室(3)抽真空，抽到低真空1pa，再用擴散泵(9)將真空抽到高真空10^-3pa以下；

然后給電子槍(1)預熱，設置高壓為25-35kW，高壓預熱5-10分鐘，關閉高壓，設置電子槍(1)束流為70-200mA，束流預熱5-10分鐘，關閉電子槍(1)束流；同時打開電子槍(1)的高壓和束流，穩定后用電子槍(1)轟擊工業硅料(4)，增大電子槍(1)束流到500-800mA，持續轟擊30-50分鐘；以每分鐘50-200mA的速度調低電子槍(1)的束流直到關閉；

最后依次關閉擴散泵(9)、羅茲泵(8)、機械泵(6)待溫度降到200℃左右時，打開放氣閥(11)，打開真空裝置蓋(2)取出硅材料。

2.如權利要求1所述的一種工業硅除硼的方法，其所采用裝置的特征在于，裝置由真空裝置蓋(2)、真空圓桶(12)構成裝置的外殼，真空圓桶(12)內腔即為真空室(3)，真空室(3)內裝有熔煉系統，熔煉系統由電子槍(1)、石英環(5)、水冷銅坩堝(7)構成，石英環(5)放入水冷銅坩堝(7)上，對中，在水冷銅坩堝(7)的上方安置電子槍(1)，將支撐桿(10)與水冷銅坩堝(7)鏈接，焊牢；機械泵(6)、羅茲泵(8)、擴散泵(9)分別在真空圓桶(12)右側相連，放氣閥(11)與真空圓桶(12)的左側中部相連。