[發明專利]電氣柜

無效

• 申請號: 201010241669.1
• 申請日: 2010-07-30
• 公開（公告）號: CN102348363A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 張洪博;王明;余斌;于文忠
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20;H05K5/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本發明涉及電器設備散熱技術領域，且特別涉及一種應用于光刻機中的電氣柜。

背景技術

目前工業中的各種數控設備，越來越向小型化和機電氣一體化方向發展，由于采用了大量的集成電路和狹小的電器控制柜，當設備正常工作時，電路部分發熱量越來越大，因此設備電氣柜的散熱已成相關行業所要解決的一項重要課題。

在工程應用中，電氣柜的控溫方式大多采用熱抽排的方式。熱抽排即將電氣柜內板卡等熱源散發到內部空氣中的熱量抽排到外部環境中，同時電氣柜內不斷補充恒溫氣體。這樣，一方面可以保護板卡等電子元件，另一方面控制電氣柜外表面的溫度，使之不至于影響到系統的溫度分布，甚至影響到激光設備的正常運行。

然而通過對熱抽排的長期研究發現，請參見圖1，現有的安裝熱抽排的電氣柜，都是在電氣柜殼體110一側(底部或其他位置)開一個足夠大的圓口作為出氣口120，將抽排管路130直接安裝所開的出氣口120上，這種普通抽排方式，熱抽排效率低，其原因主要是：恒溫空氣平順的流過板卡等發熱元件，在電氣柜內以行程最短的方式被抽掉，導致發熱元件無法與低溫空氣進行充分的熱交換，使發熱元件無法得到很好的散熱和降溫，進而無法保證電氣設備的穩定運行。

發明內容

本發明旨在解決現有技術中，由于電氣設備的電氣柜中的散熱部件的設計缺陷，導致散熱效率低，發熱元件無法與低溫空氣進行充分的熱交換等技術問題。

有鑒于此，本發明提供一種電氣柜，其特征在于，包括：殼體；進氣口及出氣口，設置于所述殼體上；散熱導流裝置，設置于所述出氣口處。

進一步的，所述散熱導流裝置為帶有軸流旋轉葉片式散熱導流裝置。

進一步的，所述散熱導流裝置與排氣管道匹配。

進一步的，所述的電氣柜，還包括：散熱導流肋片，設置于所述殼體內壁。

進一步的，所述散熱導流肋片為螺旋式設置于所述殼體內壁。

本發明提供的電氣柜的散熱導流裝置集中在電氣柜抽排出口處，改善電氣柜內部流場，氣流更充分的流過發熱部件，提高換熱效率，更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統的效率，節約能耗，能有效保證設備系統內的溫度，保證光刻機等設備的正常運行。另一方面，此散熱導流裝置固定于電氣柜外側，便于安裝與拆卸清洗，且與排氣管路完全貼合，易于實現標準化。

附圖說明

圖1所示為現有技術中熱抽排電氣柜的結構示意圖；

圖2所示為本發明一實施例提供的電器柜的結構示意圖；

圖3所示為本發明一實施例提供的電器柜中散熱導流裝置的結構示意圖；

圖4所示為本發明另一實施例提供的電器柜的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發明的技術特征更明顯易懂，下面結合附圖，給出具體實施例，對本發明做進一步的描述。

請參見圖2，其所示為本發明一實施例提供的電器柜的結構示意圖。

該電氣柜，包括：殼體210，進氣口220及出氣口230，設置于所述殼體210上；散熱導流裝置240，設置于所述出氣口230處。

舉例說明，該電氣柜采用的是熱抽排式散熱結構，在電氣柜中的板卡直立的情況下，進氣口220設置在電氣柜殼體210上部，出氣口230設置在電氣柜殼體210下部，散熱導流裝置240安裝在電器柜的出氣口230處，排氣管道與出氣口230連接抽氣時，電氣柜中形成低壓，低溫空氣通過進氣口220進入電氣柜內，與板卡等發熱元件進行熱交換，當空氣被抽排到出氣口處時，藉由散熱導流裝置240，改變了抽排流場，使空氣產生旋流，增加了空氣流過板卡等發熱元件的行程和速度，因而提高了熱交換的效率，更好的保護板卡等電子元件，保證電氣設備的穩定運行。

在本實施例中，請結合參見圖3，所述散熱導流裝置240為帶有軸流旋轉葉片式散熱導流裝置，其包括一軸241，以及設置于軸241上的葉片242。

當進行熱抽排時，由于軸流旋轉葉片式散熱導流裝置的作用，電氣柜內部空氣流線由最初的緩慢平順流過板卡變為快速旋轉流過板卡等發熱元件，板卡與抽排空氣的對流換熱系數增加，空氣流過板卡的行程更長，換熱效率明顯提高。與普通的直接與抽排管路連接的電氣柜相比，增加軸流旋轉葉片式散熱導流裝置的新型電氣柜可以更好的保護板卡等電子元件，同時使電氣柜外表面的溫度更均勻可控。提高了抽排系統的效率，節約能耗，能有效保證設備系統內的溫度，使得激光等設備的正常運行。