[發明專利]真空保護閥

有效

• 申請號: 201010241623.X
• 申請日: 2010-07-30
• 公開（公告）號: CN102345759A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 覃峰;陳勇輝;聶宏飛;趙濱;于文忠;李其濤
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: F16K31/126
• 分類號: F16K31/126;F16K17/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種真空保護閥，其特征在于，包括：

上閥體；

下閥體，與所述上閥體套合；

調節螺栓，與所述下閥體連接；

閥芯，置于所述下閥體中，并與所述調節螺栓套合；

活動閥座，置于所述下閥體中，并與所述閥芯抵接；

傳動桿，置于所述上閥體和所述活動閥座中，并與所述閥芯抵接；

感壓腔，連接于所述上閥體，并與所述傳動桿抵接。

2.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述上閥體，包括：

真空出口；

同心通孔，貫穿于所述上閥體，與所述真空出口連通，并與所述傳動桿間隙配合；

偏心沉孔，與所述真空出口連通；

限位凸臺，設置于所述上閥體底部；

過濾器，設置于所述真空出口中。

3.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述下閥體與所述上閥體連接處設置有閥體密封圈。

4.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述下閥體，包括：

真空進口，設置于所述下閥體一側；

密封凸臺，以承托所述活動閥座，下閥體壁與所述活動閥座間隙配合。

5.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述調節螺栓與所述下閥體連接處設置有調節螺栓密封圈。

6.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述閥芯，包括：

球座；

鋼球，設置于所述球座上。

7.根據權利要求6所述的閥芯，其特征在于，所述鋼球直徑為5～12mm。

8.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，還包括閥芯彈簧，其兩端分別連接于所述閥芯與所述調節螺栓。

9.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述活動閥座，包括：

座體；

高壓流道，設置于所述座體的邊緣；

節流孔，設置于所述座體上；

真空流道，設置于所述座體中心；

錐孔，設置于所述真空流道下部；

限位槽，環繞設置于所述座體面上。

10.根據權利要求9所述的活動閥座，其特征在于，所述節流孔直徑為0.2～1mm。

11.根據權利要求9所述的活動閥座，其特征在于，所述活動閥座的直徑大于所述密封凸臺的直徑。

12.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，還包括閥座彈簧，其兩端分別連接所述上閥體和所述活動閥座。

13.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述傳動桿，為上粗下細的階梯軸結構。

14.根據權利要求13所述的傳動桿，其特征在于，所述傳動桿的上部直徑為2～5mm，下部直徑為1～3mm。

15.根據權利要求1所述的真空保護閥，其特征在于，所述感壓腔，包括：

上蓋板，具有多個小孔；

下蓋板，蓋合于所述上蓋板，形成一腔體；

金屬膜片，設置于所述上蓋板與下蓋板之間，將所述腔體分為上下兩個空腔；

膜片墊片，設置于所述金屬膜片下；

連接螺柱，設置于所述下蓋板底部，用于與所述上閥體連接；

濾網，設置于所述上蓋板上。

16.根據權利要求15所述的感壓腔，其特征在于，所述上下兩個空腔的高度為2～10mm。

17.根據權利要求15所述的感壓腔，其特征在于，所述連接螺柱與所述上閥體連接處設置有感壓腔密封圈。