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[發明專利]從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法有效

專利信息
申請號: 201010240611.5 申請日: 2010-07-28
公開(公告)號: CN101905887A 公開(公告)日: 2010-12-08
發明(設計)人: 梁正;周曉燕;張麗云 申請(專利權)人: 化學工業第二設計院寧波工程有限公司
主分類號: C01B33/04 分類號: C01B33/04
代理公司: 寧波奧圣專利代理事務所(普通合伙) 33226 代理人: 程曉明
地址: 浙江省寧波市國家*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 硅烷 蒸餾釜 回收 方法
【權利要求書】:

1.從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法,其特征在于包括以下步驟:

(1)將脫重組分塔中的主要由硅烷和乙硅烷組成的硅烷蒸餾釜液通過減壓閥,將壓力由0.5~5.0MPaG降為0.05~0.6MpaG,溫度由0.5~5.0MPaG壓力下的泡點溫度降為0.05~0.6MpaG壓力下的泡點溫度;

(2)將進料閥和蒸氣出口閥打開,將步驟(1)得到的降壓降溫后的的硅烷蒸餾釜液連續送入第一蒸發罐;

(3)在第一蒸發罐的夾套中充入-50~10℃的有機化合物傳熱介質,將步驟(2)中送入第一蒸發罐的硅烷蒸餾釜液中的硅烷加熱蒸發,由蒸氣出口閥門逸出第一蒸發罐,進入硅烷凈化系統,當第一蒸發罐中的殘留釜液的硅烷含量降到10~65%wt時,依次關閉進料閥門和蒸氣出口閥;

(4)將殘留釜液閥門打開,第一蒸發罐中的殘留釜液被壓送到第二蒸發罐,所述的第一蒸發罐中的殘留釜液液位降至不使第一蒸發罐排凈的程度;

(5)在第二蒸發罐的夾套中充入10~50℃的有機化合物傳熱介質,將第二蒸發罐中的殘留釜液加熱蒸發,通過第二蒸發罐的出氣口進入尾氣處理系統。

2.根據權利要求1所述的從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法,其特征在于:所述的有機化合物傳熱介質為庚烷。

3.根據權利要求1所述的從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法,其特征在于:步驟

(1)中所述的硅烷蒸餾釜液0.5~5.0MPaG壓力下的泡點溫度為-4~-40℃,所述的硅烷蒸餾釜液0.05~0.6MPaG壓力下的泡點溫度為-60~-90℃。

4.根據權利要求1所述的從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法,其特征在于:步驟

(3)中所述的當第一蒸發罐中的殘留釜液的硅烷含量降到10~65%wt時,所述的殘留釜液溫度為-35~-77℃。

5.根據權利要求1所述的從硅烷蒸餾釜液中回收硅烷的方法,其特征在于:步驟

(4)中所述的第一蒸發罐中的殘留釜液液位降至不使第一蒸發罐排凈的程度為所述的第一蒸發罐中的殘留釜液液位降至50-200mm。

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