[發明專利]鋁鈰金屬靶材及利用該鋁鈰金屬靶材制作鋁鈰膜的方法有效
| 申請號： | 201010240059.X | 申請日： | 2010-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN102345100A | 公開（公告）日： | 2012-02-08 |
| 發明（設計）人： | 張新倍;陳文榮;蔣煥梧;陳正士;張成 | 申請（專利權）人： | 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518109 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 利用 制作 鋁鈰膜 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種鋁鈰金屬靶材，其特征在于：該鋁鈰金屬靶材包括一鋁板和若干鈰塊，該鋁板上設有若干通孔，該若干鈰塊鑲嵌于該若干通孔內。
2.如權利要求1所述的鋁鈰金屬靶材，其特征在于：所述若干通孔均勻地分布于鋁板上。
3.如權利要求1所述的鋁鈰金屬靶材，其特征在于：所述若干鈰塊占所述鋁鈰金屬靶材的質量百分含量為5％～40％。
4.一種利用權利要求1-3任意項中的鋁鈰金屬靶材制作鋁鈰膜的方法，包括以下步驟：
提供一基材；
將該基材放入一鍍膜機的真空室內，使用鋁鈰金屬靶，設置氬氣流量至50～300sccm，對鋁鈰金屬靶施加-100～-400V的偏壓，通過磁控濺射鍍膜的方法在該基材上形成一鋁鈰膜層。
5.如權利要求4所述的利用鋁鈰金屬靶材制作鋁鈰膜的方法，其特征在于：形成的鋁鈰膜厚度為1～5微米。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司，未經鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010240059.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種移動終端及其獲取瀏覽器文字信息的方法
- 下一篇：具指紋識別功能的手機
- 同類專利
- 專利分類
