[發(fā)明專利]一種用石英砂法制備四氟化硅的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010239895.6
• 申請(qǐng)日: 2010-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101920962A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孟啟貴;梁正;陳發(fā)揮;沈鐵孟;李國(guó)華;楊建松
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 化學(xué)工業(yè)第二設(shè)計(jì)院寧波工程有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/107
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33226
• 代理人: 程曉明

1.一種用石英砂法制備四氟化硅的方法，其原料包括金屬氟化物和二氧化硅，其特征在于包括下述步驟：

1)在爐溫為300～400℃條件下，將金屬氟化物在煅燒爐中煅燒活化2～10分鐘，得到活化金屬氟化物；

2)將上述活化金屬氟化物放入氟化氫反應(yīng)爐中，加入重量百分濃度不低于95％的濃硫酸，所述濃硫酸與所述金屬氟化物的摩爾比為1～3∶1，反應(yīng)1～5分鐘得到氟化氫氣體；

3)將上述氟化氫氣體，先在洗滌塔用重量百分濃度不低于95％的濃硫酸洗滌，再在冷凝器中冷卻為-8℃的氟化氫液體；

4)將二氧化硅和重量百分濃度為80～90％的硫酸，按重量比1∶4～19預(yù)混，制成二氧化硅預(yù)混漿料；

5)將上述二氧化硅預(yù)混漿料和氟化氫液體與重量百分濃度為80～90％的硫酸，按重量比3∶4∶25的比例，放入四氟化硅反應(yīng)器中，在60～90℃條件下，反應(yīng)1.5～2.5小時(shí)，得到四氟化硅氣體；

6)將上述四氟化硅氣體在洗滌塔用重量百分濃度80～90％的硫酸洗滌，洗滌后壓縮儲(chǔ)存該四氟化硅氣體。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用石英砂法制備四氟化硅的方法，其特征在于所述的金屬氟化物為氟化鈣，在步驟2中，所述濃硫酸與所述氟化鈣的摩爾比為1.2～1.6∶1。

3.如權(quán)利要求1所述的一種用石英砂法制備四氟化硅的方法，其特征在于所述的金屬氟化物為四氟化鋁鈉，在步驟2中，所述濃硫酸與所述四氟化鋁鈉的摩爾比為2.3～2.8∶1。

4.如權(quán)利要求1所述的一種用石英砂法制備四氟化硅的方法，其特征在于在步驟4中，所述硫酸的濃度為83～86％，所述二氧化硅和所述硫酸的重量比1∶8～12。

5.如權(quán)利要求1所述的一種用石英砂法制備四氟化硅的方法，其特征在于在步驟5中，所述硫酸的濃度為83～86％，反應(yīng)時(shí)間為2小時(shí)。