[發(fā)明專(zhuān)利]雙軸共焦高空間分辨乘積處理方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010239830.1
• 申請(qǐng)日: 2010-07-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101936717A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙維謙;邱麗榮;江琴;劉大禮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24;G01B11/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.雙軸共焦高空間分辨乘積處理方法，采用雙軸差動(dòng)共焦顯微術(shù)的橫向分割探測(cè)方式和兩探測(cè)器信號(hào)乘積探測(cè)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品的高空間分辨測(cè)量；該處理方法的裝置以測(cè)量面法線方向?yàn)闇y(cè)量軸線，建立雙軸共焦系統(tǒng)坐標(biāo)系(x，y，z)，入射光束的光軸與系統(tǒng)z軸夾角為θ，入射光束以入射角θ經(jīng)測(cè)量透鏡入射到被測(cè)樣品上，經(jīng)被測(cè)樣品以θ角反射后，進(jìn)入采集透鏡；經(jīng)過(guò)采集透鏡出射的測(cè)量光束，經(jīng)成像透鏡成像于其焦平面上，經(jīng)放大透鏡將成像透鏡焦平面上的聚焦光斑放大并成像在探測(cè)器上；以聚焦光斑的中心為原點(diǎn)，建立與接收光軸垂直的像面坐標(biāo)系(x_d′y_d′)，同時(shí)在點(diǎn)(-M，0)和(+M，0)處設(shè)置兩個(gè)相同的針孔，形成兩個(gè)點(diǎn)探測(cè)器，M為點(diǎn)探測(cè)器相對(duì)原點(diǎn)的橫向偏離量，M對(duì)應(yīng)的橫向歸一化偏移為v_xM，其特征在于：

1)優(yōu)化入射角θ和針孔的橫向歸一化偏移量v_xM，減小雙軸乘積共焦響應(yīng)曲線的半高寬和兩點(diǎn)可分辨距離，使共焦顯微技術(shù)的空間分辨力最優(yōu)；

2)利用上述裝置對(duì)被測(cè)樣品沿x、y、z方向掃描，兩個(gè)點(diǎn)探測(cè)器測(cè)得反應(yīng)被測(cè)樣品凸凹變化的強(qiáng)度信號(hào)I_A(x，y，z，-v_xM)和I_B(x，y，z，+v_xM)，將信號(hào)I_A(x，y，z，+v_xM)和I_B(x，y，z，-v_xM)相乘并進(jìn)行歸一化處理，得到對(duì)應(yīng)被測(cè)樣品凸凹變化的強(qiáng)度曲線I_DM(x，y，z，v_xM)；

3)依據(jù)強(qiáng)度曲線I_DM(x，y，z，v_xM)線性區(qū)間的大小，或依據(jù)強(qiáng)度曲線I_DM(x，y，z，v_xM)最大值的位置，重構(gòu)出被測(cè)樣品的表面形貌和微觀尺度。

2.依據(jù)權(quán)利1所述的雙軸共焦高空間分辨乘積處理方法，其特征在于：為了進(jìn)一步改善橫向分辨力，可在測(cè)量透鏡前面或收集透鏡后面加入光學(xué)超分辨器件，或者在測(cè)量透鏡前面和收集透鏡后面都加入光學(xué)超分辨器件。