[發(fā)明專利]微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010239107.3 | 申請日： | 2010-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN101907690A | 公開（公告）日： | 2010-12-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 雷沖;周勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01R33/04 | 分類號： | G01R33/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交達(dá)專利事務(wù)所 31201 | 代理人： | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微型 化非晶軟磁 合金 螺線管 磁通門 傳感器 | ||
1.一種微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征在于，包括：襯底、激勵線圈、感應(yīng)線圈、非晶磁芯、電極、聚酰亞胺保護(hù)膜，非晶磁芯上對稱繞制兩組相連的三維螺線管激勵線圈，與激勵線圈垂直繞制一組三維螺線管感應(yīng)線圈，激勵線圈和感應(yīng)線圈均通過聚酰亞胺保護(hù)膜與非晶磁芯絕緣隔離，激勵線圈和感應(yīng)線圈均位于襯底上，激勵線圈和感應(yīng)線圈兩端都連接電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的襯底為硅片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的激勵線圈和感應(yīng)線圈結(jié)構(gòu)一致，均由底層線圈、頂層線圈通過連接導(dǎo)體連接形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或者3所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的激勵線圈和感應(yīng)線圈，兩組相連的激勵線圈在非晶磁芯相互平行的兩邊上對稱繞制，感應(yīng)線圈在平面內(nèi)垂直于激勵線圈繞制在非晶磁芯另外兩條邊上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的非晶磁芯為通非晶合金薄帶粘貼在位于底層線圈和頂層線圈之間的聚酰亞胺保護(hù)膜上，形成矩形非晶磁芯。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的聚酰亞胺保護(hù)膜，非晶磁芯、激勵線圈和感應(yīng)線圈均由聚酰亞胺保護(hù)膜絕緣、支撐并完全包覆固定為一個整體，與空氣隔離。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微型化非晶軟磁合金磁芯螺線管磁通門傳感器，其特征是，所述的電極，通過刻蝕聚酰亞胺保護(hù)膜形成，電極單獨(dú)暴露以連接與激勵線圈和感應(yīng)線圈接口電路。
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