[發(fā)明專利]一種通過(guò)壓強(qiáng)變化判斷刻蝕終止點(diǎn)的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010238650.1
• 申請(qǐng)日: 2010-07-28
• 公開（公告）號(hào): CN102337522A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林英浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/52
• 分類號(hào): C23C16/52;H01L21/66;H01J37/32
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

1.一種通過(guò)壓強(qiáng)變化判斷刻蝕終止點(diǎn)的方法，其特征在于：需要判斷刻蝕終止點(diǎn)的腔體與排氣管道連通，排氣管道上設(shè)有閥，通過(guò)監(jiān)測(cè)腔體內(nèi)壓強(qiáng)變化來(lái)判斷刻蝕終止點(diǎn)。

2.按照權(quán)利要求1所述的通過(guò)壓強(qiáng)變化判斷刻蝕終止點(diǎn)的方法，其特征在于：刻蝕時(shí)，排氣管道上閥的開度不變，通過(guò)監(jiān)測(cè)腔體內(nèi)壓強(qiáng)變化來(lái)判斷刻蝕終止點(diǎn)。

3.按照權(quán)利要求1所述的通過(guò)壓強(qiáng)變化判斷刻蝕終止點(diǎn)的方法，其特征在于：閥的開度17％；刻蝕過(guò)程中，當(dāng)腔體內(nèi)壓強(qiáng)從3torr變?yōu)?.5torr時(shí)，刻蝕清洗完畢。