[發明專利]利用MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊的方法

有效

• 申請號: 201010238192.1
• 申請日: 2010-07-28
• 公開（公告）號: CN101973081A
• 公開（公告）日: 2011-02-16
• 發明（設計）人: 吳繼賢;賀潔
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

本發明涉及一種多晶晶塊的切片工藝，尤其是一種利用MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊的方法。

背景技術

目前多晶晶錠經過開方、檢測、磨面、倒角、截斷，粘棒后就可進入切片階段，在對多晶晶塊切片時，通常在晶塊進入切片機臺切片之前，先將晶塊平行的粘在粘有晶托的玻璃表面，再將晶棒裝在設備上，并且將整個晶棒都放至在線網內(包括晶棒兩端的斜面)，切片過程由于前道工序——截斷易產生崩邊、斜面等問題，導致端面引起的崩邊、缺角、裂紋、碎片、甚至斷線，嚴重影響了切片效益，極大的浪費了硅料。

國內外行業內尚無解決多晶晶塊截斷崩邊、截斷斜面以及切片工藝中崩邊、缺角、裂紋、碎片、甚至斷線比例居高不下積極有效方法的報道。

發明內容

本發明要解決的技術問題是：為了解決多晶晶塊端面斜面在切割過程種易產生鋼線打滑引起的跳線、斷線，以及雖然不斷線但是產生崩邊、缺角、裂紋、碎片，同時也浪費了硅料的技術問題，提供一種利用MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊的方法。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種利用MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊的方法，其具有如下步驟：

a.對一多晶錠進行開方、檢測、截斷、倒角、磨面制成成品多晶硅塊，選取其中截頭截尾的F2硅塊和M1硅塊，截頭不截尾的F1硅塊和M2硅塊；

b.將F1、F2、M1、M2硅塊、玻璃板、尾部成臺階型的晶托放在鋪有軟膠皮墊超聲波槽內清洗；

c.將玻璃板噴砂，再在噴過砂的玻璃板的上表面均勻地涂抹上膠水，將晶托粘在玻璃板上，并用鐵托壓制；

d.將晶托兩頭相對并列排放，再在玻璃板的下表面均勻的涂抹上膠水，將F1、F2、M1、M2硅塊依次并排粘在玻璃板下表面上，使得硅塊與玻璃板邊緣平行，不超過玻璃板長度，且F1硅塊尾部的少子壽命線與左側晶托尾部的臺階面對齊，M2硅塊尾部的少子壽命線與右側晶托尾部的臺階面對齊；

e.經過固化處理，將粘有硅塊的晶托安裝于切片機上，使得線網的第一根進線與F1硅塊的尾部少子壽命線對齊，線網的最后一根出線與M2硅塊的尾部少子壽命線對齊；

f.晶塊切片結束后下棒，經過清洗、分選、測試、包裝成成品。

本發明的有益效果是：本發明通過一系列方法確保線網第一根進線與F1位置硅塊尾部的少子壽命線對齊，線網最后一根出線與M2位置硅塊尾部的少子壽命線對齊，也就是MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊，從而根本解決了現切片工藝中由于晶棒端面斜面引起切損、崩邊、缺角、跳線、甚至斷線，同時由于減少了2個端面的切割(端面斜面即使被切成片也是廢片)，極大的減少了切片端硅料的損失，并且減少了硅塊截斷工序的工作量，降低了截斷成本、減少截斷工序對于硅料的損耗，防止由于截斷而產生的崩邊、斜面(對于1根8寸多晶塊原來的工藝需要截硅塊的頭、尾，現在只需要截頭，但是尾不需要截)。最大限度的提高了硅料的利用率和硅片端的良率。

附圖說明

下面結合附圖對本發明進一步說明。

圖1是現有硅塊切片的結構示意圖；

圖2是本發明硅塊切片的結構示意圖。

其中：1.F1硅塊，1-1.F1硅塊尾部的少子壽命線，2.F2硅塊，3.M1硅塊，4.M2硅塊，4-1.M2硅塊尾部的少子壽命線，5.玻璃板，6.晶托，7.線網的第一根進線，8.線網的最后一根出線

具體實施方式

如圖2是本發明硅塊切片的結構示意圖，一種利用MB線鋸切截頭不截尾8寸多晶塊的方法，其具有如下步驟：

a.對一多晶錠進行開方、檢測、截斷、倒角、磨面制成成品多晶硅塊，選取其中截頭截尾的F2硅塊2和M1硅塊3，截頭不截尾的F1硅塊1和M2硅塊4；

b.將F1、F2、M1、M2硅塊、兩塊玻璃板5、兩塊尾部成臺階型的晶托6放在鋪有軟膠皮墊超聲波槽內清洗；

c.將玻璃板5噴砂，再在噴過砂的玻璃板5的上表面均勻地涂抹上膠水，將兩塊晶托6粘分別在兩塊玻璃板5上，并用鐵托壓制；

d.將晶托6兩頭相對并列排放，再在兩塊玻璃板5的下表面均勻的涂抹上膠水，將F1、F2、M1、M2硅塊依次并排粘在玻璃板5下表面上，使得硅塊與玻璃板5邊緣平行，不超過玻璃板5的長度，且F1硅塊尾部的少子壽命線1-1與左側晶托尾部的臺階面對齊，M2硅塊尾部的少子壽命線4-1與右側晶托尾部的臺階面對齊；

e.經過固化處理，將粘有硅塊的晶托6安裝于切片機上，使得線網的第一根進線7與F1硅塊的尾部少子壽命線1-1對齊，線網的最后一根出線8與M2硅塊的尾部少子壽命線4-1對齊；