[發(fā)明專利]樣片去膠裝置及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010238028.0
• 申請日: 2010-07-27
• 公開（公告）號: CN102338993A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王磊;景玉鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32;G03F7/30
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 王建國

1.一種樣片去膠裝置，其特征在于，包括：

用于提供超純?nèi)ルx子水的去離子水儲(chǔ)罐、用于對所述超純?nèi)ルx子水加熱，使其成為水蒸氣和去離子水的混合流體的熱交換器及使用所述混合流體對樣片進(jìn)行去膠的去膠腔室；所述去離子水儲(chǔ)罐的出口與所述熱交換器的入口連接；所述熱交換器的出口與所述去膠腔室的入口相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠裝置，其特征在于：

所述去離子水儲(chǔ)罐的出口依次通過一增壓泵、一單向閥與所述熱交換器的入口連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠裝置，其特征在于，還包括：

噴嘴，所述噴嘴為變徑空腔結(jié)構(gòu)，其通過旋轉(zhuǎn)接頭與所述去膠腔室內(nèi)壁連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的去膠裝置，其特征在于：

所述噴嘴能夠繞所述旋轉(zhuǎn)接頭的軸線360°旋轉(zhuǎn)，按照步進(jìn)電機(jī)式進(jìn)行移動(dòng)掃描，且所述噴嘴可拆卸更換；所述噴嘴入口處管路上接有壓力計(jì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的樣片去膠裝置，其特征在于：

所述熱交換器的出口通過所述噴嘴將所述混合流體噴射到所述樣片；

所述熱交換器采用哈氏合金制造；所述熱交換器管路內(nèi)部都涂有氟涂層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去膠裝置，其特征在于，還包括：

恒溫加熱裝置，用于保持所述熱交換器的恒定溫度。

溫度顯示和控制裝置，用于調(diào)整所述恒溫加熱裝置的溫度并實(shí)時(shí)顯示。

7.權(quán)利要求1、2、3、4或6任一項(xiàng)所述的去膠裝置，其特征在于：

所述去膠腔室設(shè)置有用于固定樣片的托盤，所述托盤能夠水平旋轉(zhuǎn)或者與水平成一角度傾斜。

8.一種樣片去膠方法，其特征在于，包括：

形成水蒸氣和去離子水的混合流體；及

使用所述混合流體對樣片進(jìn)行去膠。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述形成水蒸氣和水的混合流體之前還包括：

對超純?nèi)ルx子水進(jìn)行加熱，使超純部分去離子水變成水蒸氣。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，

所述加熱的溫度為100～500℃；所述去膠的壓力為0.1～7MPa。