[發(fā)明專利]一種用來制作生物芯片的硅藻陣列化定位加工方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010236124.1
• 申請日: 2010-07-26
• 公開（公告）號: CN101915851A
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張德遠(yuǎn);蔡軍;潘駿峰;王瑜
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號: G01N35/00
• 分類號: G01N35/00
• 代理公司: 北京永創(chuàng)新實(shí)專利事務(wù)所 11121
• 代理人: 李有浩

1.一種用來制作生物芯片的硅藻陣列化定位加工方法，其特征在于包括有下列步驟：

步驟一：硅藻的預(yù)處理

將硅藻加入去離子水中攪拌均勻得到第一混合物；

用量：1g的硅藻中加入15ml～20ml的去離子水；

步驟二：基片的預(yù)處理

(A)按所需尺寸截取基片，并用去離子水沖洗后放入玻璃容器中；

(B)向玻璃容器中加入100ml～1000ml的去離子水，在功率700W～1000W、工作頻率28KHz～40KHz的條件下超聲清洗10min～30min得到第一預(yù)處理基片；

(C)將第一預(yù)處理基片放入另一玻璃容器中，加入質(zhì)量濃度為95％的無水乙醇，然后置于超聲清洗機(jī)中，在功率700W～1000W、工作頻率28KHz～40KHz的條件下超聲清洗10min～30min后，得到第二預(yù)處理基片；

(D)將第二預(yù)處理基片在溫度為90℃～120℃中干燥20min～40min后，取出即得到清潔基片；

步驟三：在清潔基片上平鋪熱熔膠

(A)將步驟二處理得到的清潔基片安裝在熱烘板上，調(diào)節(jié)熱烘板溫度至110℃～140℃，并在此溫度下保持恒溫；然后將固體熱熔膠置于清潔基片上，經(jīng)5min～10min后固體熱熔膠被融化平鋪在清潔基片上；

(B)在20℃～35℃溫度下冷卻10min～15min后得到熱熔膠基片；

每平方厘米的清潔基片上使用0.05g～0.15g的固體熱熔膠；

步驟四：光刻制陣列化圖形

(A)將經(jīng)步驟三處理得到的熱熔膠基片安裝在勻膠機(jī)上；在第一轉(zhuǎn)速為500r/min～1000r/min的條件下，滴加入0.5ml～2ml的光刻膠正膠；在第二轉(zhuǎn)速為2500r/min～3500r/min的條件下，勻膠20s～40s后，得到第一復(fù)合基片；

(B)將第一復(fù)合基片安裝在熱烘板上，調(diào)節(jié)熱烘板溫度至110℃～120℃，并在此溫度下進(jìn)行前烘處理2min～3min，得到第二復(fù)合基片；

(C)將第二復(fù)合基片安裝在光刻機(jī)中，并在第二復(fù)合基片上安裝具有陣列化圖形的掩模；將第二復(fù)合基片在紫外線中曝光10s～20s后，得到第三復(fù)合基片；

(D)將第三復(fù)合基片置于質(zhì)量百分比濃度為70％～95％的顯影液中浸泡2s～5s后取出，然后用去離子水中浸泡5s～10s定影后，得到第四復(fù)合基片；

(E)將第四復(fù)合基片安裝在熱烘板上，調(diào)節(jié)熱烘板溫度至120℃～130℃，并在此溫度下進(jìn)行后烘處理1min～2min后取出；

(F)在20℃～35℃溫度下冷卻10min～15min后得到第五復(fù)合基片；

步驟五：定位硅藻

(A)在第五復(fù)合基片表面均勻滴加第一混合物，并將其在20℃～35℃溫度下靜置15min～30min后得到第六復(fù)合基片；

用量：1平方厘米的第五復(fù)合基片上滴加50μl～100μl的第一混合物；

(B)將第六復(fù)合基片安裝在熱烘板上，調(diào)節(jié)熱烘板溫度至60℃～80℃，并在此溫度下靜置10min～20min后取出；

(C)在20℃～35℃溫度下冷卻15min～30min后得到第七復(fù)合基片；

(D)將第七復(fù)合基片置于去膠液中浸泡3min～8min后取出，得到復(fù)合微流體基片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用來制作生物芯片的硅藻陣列化定位加工方法，其特征在于：該固體熱熔膠可以是熱塑性聚氨酯彈性體(TPU)、乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)、乙烯丙烯酸共聚物(EAA)、聚酰胺(PA)、聚酯(PES)和聚酯酰胺(PEA)中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用來制作生物芯片的硅藻陣列化定位加工方法，其特征在于：去膠液可以是北京科華微電子材料有限公司的BP系列紫外正膠去膜劑、Futurrex的RR4/41去膠液、J.T.baker的PRS3000去膠液、或者韓國東進(jìn)的DTNS-T4000去膠液。