[發(fā)明專利]電子回旋共振磁性模塊與電子回旋共振裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010232871.8
• 申請(qǐng)日: 2010-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN102340921A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志振;黃昆平;李侃峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種電子回旋共振磁性模塊，包括：

多層導(dǎo)磁環(huán)體，每一個(gè)導(dǎo)磁環(huán)體具有內(nèi)環(huán)壁與外環(huán)壁，每一個(gè)導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)開設(shè)有多個(gè)徑向孔；以及多個(gè)磁柱，其分別嵌入于該多層導(dǎo)磁環(huán)體所具有的徑向孔內(nèi)，其中，相鄰的兩導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)的磁柱，所具有的磁場(chǎng)方向相反。

2.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中該多層導(dǎo)磁環(huán)體的外圍還設(shè)置有導(dǎo)磁套筒。

3.如權(quán)利要求2所述的電子回旋共振磁性模塊，其中該導(dǎo)磁套筒的材質(zhì)為硅鋼或者是軟鐵。

4.如權(quán)利要求2所述的電子回旋共振磁性模塊，其產(chǎn)生至少875高斯的磁場(chǎng)。

5.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中該多層的數(shù)量為偶數(shù)。

6.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中該多層的數(shù)量為奇數(shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，每一個(gè)徑向孔貫通該內(nèi)環(huán)壁與該外環(huán)壁。

8.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，相鄰的導(dǎo)磁環(huán)體間通過一支撐結(jié)構(gòu)而保持有一間距。

9.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中該磁柱的截面為圓形、橢圓、多邊形、具有曲度的截面輪廓或者是具有曲度以及線性側(cè)邊組合的輪廓。

10.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中在同一導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)的全部磁柱，所具有的磁場(chǎng)方向均相同。

11.如權(quán)利要求1所述的電子回旋共振磁性模塊，其中導(dǎo)磁環(huán)體外徑為15厘米，磁柱長(zhǎng)度為3厘米，直徑為2厘米，每一個(gè)磁柱充磁至5000高斯。

12.一種電子回旋共振裝置，包括：

腔體；

波導(dǎo)模塊，其與該腔體相耦接；

石英罩，其設(shè)置于該腔體內(nèi)；

磁性模塊，其環(huán)設(shè)于該腔體的外圍，該磁性模塊具有多層導(dǎo)磁環(huán)體以及多個(gè)磁柱，該多層導(dǎo)磁環(huán)體，每一個(gè)導(dǎo)磁環(huán)體具有內(nèi)環(huán)壁與外環(huán)壁，每一個(gè)導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)開設(shè)有多個(gè)徑向孔，該多個(gè)磁柱，其分別嵌入于該多層導(dǎo)磁環(huán)體所具有的徑向孔內(nèi)，其中，相鄰的兩導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)的磁柱，所具有的磁場(chǎng)方向相反；以及

承載臺(tái)，其設(shè)置于該腔體內(nèi)。

13.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中該多層導(dǎo)磁環(huán)體的外圍還設(shè)置有導(dǎo)磁套筒。

14.如權(quán)利要求13所述的電子回旋共振裝置，其中該導(dǎo)磁套筒的材質(zhì)為硅鋼或者是軟鐵。

15.如權(quán)利要求13所述的電子回旋共振裝置，其中該磁性模塊產(chǎn)生至少875高斯的磁場(chǎng)。

16.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其為橫向電場(chǎng)電子回旋共振裝置。

17.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其為橫向磁場(chǎng)電子回旋共振裝置。

18.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其于大氣壓力5x10-5托爾以上及一定的微波功率下產(chǎn)生等離子體以于設(shè)置于該承載臺(tái)上的基材形成大面積的鍍膜。

19.如權(quán)利要求18所述的電子回旋共振裝置，其中該鍍膜層為石墨烯。

20.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中該多層的數(shù)量為偶數(shù)。

21.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中該多層的數(shù)量為奇數(shù)。

22.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，每一個(gè)徑向孔貫通該內(nèi)環(huán)壁與該外環(huán)壁。

23.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，相鄰的導(dǎo)磁環(huán)體間通過一支撐結(jié)構(gòu)而保持有一間距。

24.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中該磁柱的截面為圓形、橢圓、多邊形、具有曲度的截面輪廓或者是具有曲度以及線性側(cè)邊組合的輪廓。

25.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中在同一導(dǎo)磁環(huán)體內(nèi)的全部磁柱，所具有的磁場(chǎng)方向均相同。

26.如權(quán)利要求12所述的電子回旋共振裝置，其中導(dǎo)磁環(huán)體外徑為15厘米，磁柱長(zhǎng)度為3厘米，直徑為2厘米，每一個(gè)磁柱充磁至5000高斯。