[發明專利]ULSI銅材料拋光后表面清洗方法有效
| 申請號： | 201010232260.3 | 申請日： | 2010-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN101972755A | 公開（公告）日： | 2011-02-16 |
| 發明（設計）人： | 劉玉嶺;劉效巖;劉鈉;何彥剛 | 申請（專利權）人： | 河北工業大學 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 天津市三利專利商標代理有限公司 12107 | 代理人： | 劉英蘭 |
| 地址： | 300130*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | ulsi 材料 拋光 表面 清洗 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種ULSI銅材料拋光后表面清洗方法，其特征在于：具體實施步驟如下，以下按重量％計：
(1)制備清洗液：
將表面活性劑1-4％、FA/OII型螯合劑0.5-3％、FA/OII型阻蝕劑0.1-5％、余量去離子水，混合攪拌均勻后制備成pH值為7.4-8.2的水溶性表面清洗液；
(2)使用步驟(1)中制備的清洗液對堿性化學機械拋光后的銅材料在2000Pa-3000Pa低壓力下、1000-5000ml/min的大流量條件下進行拋光清洗，拋光清洗時間0.5-2分鐘。
2.按照權利要求1所述的ULSI銅材料拋光后表面清洗方法，其特征在于：所述步驟(1)采用的表面活性劑為市售的FA/OI型表面活性劑、Oπ-7((C10H21-C6H4-O-CH2CH2O)7-H)、Oπ-10((C10H21-C6H4-O-CH2CH2O)10-H)、O-20(C12-18H25-37-C6H4-O-CH2CH2O)70-H)、JFC的一種。
3.按照權利要求1所述的ULSI銅材料拋光后表面清洗方法，其特征在于：所述步驟(1)采用的螯合劑為市售FA/OII型螯合劑：乙二胺四乙酸四(四羥乙基乙二胺)。
4.按照權利要求1所述的ULSI銅材料拋光后表面清洗方法，其特征在于：所述步驟(1)采用的阻蝕劑為市售的FA/OII型阻蝕劑。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于河北工業大學，未經河北工業大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010232260.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
