[發(fā)明專利]一種鐵電薄膜退極化時(shí)間的測量方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010231417.0
• 申請(qǐng)日: 2010-07-16
• 公開（公告）號(hào): CN101915878A
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭分剛;方亮;董雯;沈明榮;曹大威
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G01R19/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒

1.一種鐵電薄膜退極化時(shí)間的測量方法，其特征在于：包括下列步驟：

(1)在鐵電薄膜上分別設(shè)置上電極和下電極，構(gòu)成金屬/薄膜/金屬電容器結(jié)構(gòu)，將測量系統(tǒng)置于電磁屏蔽罩內(nèi)，并放置于暗室中；

(2)在上述電容器結(jié)構(gòu)上施加外加電場，以極化薄膜；

(3)撤除外加電場，等待時(shí)間間隔T后，用光源從薄膜上方照射樣品表面，采集記錄光電流隨時(shí)間的變化曲線；

(4)從0開始逐漸增大時(shí)間間隔T，重復(fù)上述步驟(2)和(3)，分別記錄在不同的時(shí)間間隔T下的光電流變化曲線，至光電流變化曲線中的峰值電流不再發(fā)生變化時(shí)停止；

(5)光電流變化曲線中的峰值電流達(dá)到最小時(shí)的時(shí)間間隔T，即為該鐵電薄膜的退極化時(shí)間。