[發明專利]除泡裝置及除泡方法

無效

• 申請號: 201010231005.7
• 申請日: 2010-07-19
• 公開（公告）號: CN102335525A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發明（設計）人: 陳俊宏
• 申請（專利權）人: 兆星科技有限公司
• 主分類號: B01D19/02
• 分類號: B01D19/02
• 代理公司: 北京市中聯創和知識產權代理有限公司 11364
• 代理人: 劉春生;張松林

技術領域

本發明涉及一種除泡裝置及除泡方法，特別涉及一種用于去除半導體、光電產業或其它產業涂布工藝中會產生氣泡的除泡裝置及除泡方法。

背景技術

半導體或印刷電路板主要是利用黃光工藝，涂布光阻液，使半導體晶片或電路板上形成有設計的電路線，再傳送至顯影機內進行顯影處理，使晶片或電路板上顯影出電路，其次再取出進行剝膜處理。由于在顯影及剝膜過程中容易產生大量的氣泡，例如：管有裂縫，密封效果不佳或主管路的泵造成。半導體制造工藝非常怕氣泡，因為氣泡的附著將使得顯影及剝膜處理效果不良，所以業界多半會加排氣孔來排放氣泡。

現有的印刷電路板顯像剝膜吸泡裝置，其主要是在顯影機內一側設有收集管，在收集管后方設有導管，該導管與吸泡機的循環管相接，通過循環管的循環產生吸力而將顯像機內的氣泡吸入，并由吸泡機的排泡口排出。此種裝置雖可將氣泡去除不需使用消泡劑，但是吸泡機僅是將氣泡排出，并未對氣泡進一步處理，氣泡含有光阻液，造成浪費。在講求成本降低及環保要求下，確實有再改善的空間，且上述吸泡裝置只能用在小流量(10L/MIN)，流量太大便會將氣泡排入工藝過程中。

發明內容

鑒于以上問題，本發明的主要目的在于提供一種除泡裝置及除泡方法，可用于去除半導體、光電或其它產業的涂布工藝中化學液產生的氣泡，以回收利用化學液，可節省成本且環保；并有效防止輸送大流量化學液時將氣泡排入工藝過程中。

為了實現上述的目的，本發明提供一種除泡裝置，其用于半導體、光電或其它產業涂布工藝中，包括：一殼體，其相對的兩側分別設有一輸入孔及一輸出孔，該殼體的頂部設有至少一回流孔；至少兩下隔板，其設于該殼體內的底壁；以及至少一上隔板，其設于該殼體內的頂壁，該上隔板及該兩下隔板交錯設置。

本發明所述的除泡裝置，其中，該殼體為中空殼體，該上隔板將該殼體的內部分為一第一室及一第二室，該輸入孔連通該第一室，該輸出孔連通該第二室。

本發明所述的除泡裝置，其中，該殼體的頂部及底部分別設有至少一維修孔。

本發明所述的除泡裝置，其中，靠近于該輸入孔的下隔板設有一V形凹槽。

本發明所述的除泡裝置，其中，該輸出孔的位置低于該兩下隔板的高度。

本發明還提供一種除泡方法，其用于半導體，光電或其它產業涂布工藝中，該除泡方法包括如下步驟：提供一除泡裝置，該除泡裝置具有一殼體、至少兩下隔板及至少一上隔板，該殼體相對的兩側分別設有一輸入孔及一輸出孔，該殼體的頂部設有至少一回流孔，該輸入孔、該輸出孔及該回流孔貫通該殼體的內、外部，該兩下隔板設于該殼體內的底壁，該上隔板設于該殼體內的頂壁，該上隔板及該兩下隔板交錯設置；提供一輸送管，其連接于該除泡裝置的輸入孔及一化學原料桶；提供一動力裝置，其連接于該輸送管，利用該動力裝置將該化學原料桶內的化學液送入除泡裝置，并使該除泡裝置內的化學液保持在液位高度高于該兩下隔板及該輸出孔；提供一回流管，其連接于該除泡裝置的回流孔及該化學原料桶，用于將氣泡排回該化學原料桶；以及提供一輸出管，其連接于該除泡裝置的輸出孔。

本發明所述的除泡方法，其中，該上隔板以點焊的方式設于該殼體內的頂壁。

本發明所述的除泡方法，其中，該回流管的一端連接于該化學原料桶的側壁。

本發明所述的除泡方法，其中，該回流管的一端連接于一化學原料桶接頭，該化學原料桶接頭設于該化學原料桶上。

本發明所述的除泡方法，其中，進一步設有一備用輸送管及一備用化學原料桶，該備用輸送管連接于該輸送管，該化學原料桶內的化學液用盡時，切換為該備用輸送管輸送該備用化學原料桶內的備用化學液。

本發明具有以下有益的效果：該回流管連接除泡裝置的回流孔及化學原料桶，用于將氣泡排回該化學原料桶，回收化學液，可節省成本且環保；且除泡裝置內的化學液保持在液位高度高于該兩下隔板及輸出孔，所以即使進行大流量的化學液輸送，也不會將氣泡排入工藝過程中。

附圖說明

圖1為本發明除泡裝置的立體圖。

圖2為本發明除泡裝置的俯視圖。

圖3為本發明除泡裝置的剖視圖。

圖3為本發明除泡裝置另一實施例的示意圖。

圖5為本發明除泡裝置與化學原料桶的示意圖。

圖6為本發明除泡裝置使用狀態的示意圖。

圖7為本發明除泡方法的步驟流程圖。

【主要組件符號說明】

1除泡裝置

10容置空間

101第一室

102第二室

103第三室

104第四室