[發明專利]低溫泵及低溫泵的監控方法

有效

• 申請號: 201010230201.2
• 申請日: 2010-07-13
• 公開（公告）號: CN101963144A
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 木村敏之
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B49/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 陳萍

1.一種低溫泵，從進行真空處理的真空裝置的真空腔對氣體進行排氣，其特征在于，具備：

冷凍機；

低溫板，由所述冷凍機冷卻；以及

控制部，控制所述冷凍機的運行頻率以便將所述低溫板控制在目標溫度，

所述控制部，在所述冷凍機的運行頻率達到第1判定基準時，對所述運行頻率進行第1判定時間的監控，在所述運行頻率達到相當于比所述第1判定基準高負載的第2判定基準時，對所述低溫板的溫度進行短于所述第1判定時間的第2判定時間的監控。

2.如權利要求1所述的低溫泵，其特征在于，

所述第1判定時間設定為長于加熱所述真空腔而排出氣體的烘烤處理所需的烘烤時間，所述第2判定時間設定為短于該烘烤時間。

3.如權利要求1或2所述的低溫泵，其特征在于，

所述控制部，從所述運行頻率達到第1基準頻率時開始起算所述第1判定時間，且對小于該第1基準頻率的第2基準頻率持續監控直到所述運行頻率降低為止。

4.如權利要求3所述的低溫泵，其特征在于，

所述第1基準頻率設定為大于所述真空處理中的設想的最大運行頻率的值。

5.如權利要求3或4所述的低溫泵，其特征在于，

所述控制部，在所述運行頻率達到大于所述第1基準頻率的第3基準頻率時，監控所述低溫板的溫度。

6.如權利要求1所述的低溫泵，其特征在于，

所述低溫板包括1級低溫板和被冷卻至比該1級低溫板低溫的2級低溫板，

所述控制部，在將所述1級低溫板控制在所述目標溫度時，所述冷凍機的運行頻率、所述1級低溫板的溫度以及所述2級低溫板的溫度均超過閾值的狀態持續設定時間以上時，判定為所述冷凍機異常。

7.如權利要求6所述的低溫泵，其特征在于，

所述控制部，在所述冷凍機的運行頻率及所述1級低溫板的溫度超過閾值的狀態持續所述設定時間以上，所述2級低溫板的溫度在所述設定時間內恢復時，判定為在所述真空裝置中執行著烘烤處理。

8.一種低溫泵的監控方法，所述低溫泵對進行真空處理的真空裝置進行排氣，其特征在于，包括：

在當進行控制冷凍機的運行頻率以便將低溫板控制在目標溫度的運行頻率可變控制時，所述冷凍機的運行頻率達到第1判定基準的情況下，對所述運行頻率進行第1判定時間的監控，

在所述運行頻率可變控制中，當所述運行頻率達到相當于比所述第1判定基準高負載的第2判定基準時，對所述低溫板的溫度進行短于所述第1判定時間的第2判定時間的監控。