[發(fā)明專利]一種物理版圖分割的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010230163.0
• 申請日: 2010-07-19
• 公開（公告）號: CN102339329A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳玉平;陳嵐;葉甜春
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G06F17/50
• 分類號: G06F17/50
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 王建國

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于集成電路設(shè)計領(lǐng)域，尤其涉及一種物理版圖分割的方法。

背景技術(shù)

集成電路制造從45nm工藝開始，特別是在32nm和22nm及更小特征尺寸工藝下，為了增強特征密度，需要使用二次成形光刻工藝，即將原來同層的掩模圖形分割到兩塊掩模版上，在集成電路制造過程中進行分兩次光刻制作全部的同層圖形。面向二次光刻成形技術(shù)的物理版圖分割過程需要復(fù)雜的計算過程。對于一個系統(tǒng)級芯片設(shè)計，物理版圖數(shù)據(jù)的規(guī)模在幾個GB到幾十個GB量級，并有望發(fā)展到幾百個GB到幾個TB的量級。

面對如此規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)進行二次成形光刻分割，其計算量非常巨大，利用傳統(tǒng)的分割算法處理如此規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長的時間。現(xiàn)有的解決方法是利用并行計算，將這物理版圖劃分為若干區(qū)域，不同的區(qū)域交由不同的計算資源去處理，這可以將處理速度提高一個量級。

盡管如此，面對未來幾百個GB到幾個TB的量級的更為龐大的物理版圖數(shù)據(jù)，僅僅利用傳統(tǒng)的并行算法還遠遠不夠，有必要發(fā)明新的更快的計算方法來解決這一問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種物理版圖分割的方法，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)處理大規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間，速度較慢的問題。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種物理版圖分割的方法，該方法包括以下步驟：

讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；

根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構(gòu)子電路；

利用電路和版圖一致性檢查技術(shù)確定同構(gòu)子電路的物理版圖；

確定同構(gòu)子電路物理版圖中的同構(gòu)物理版圖；

將同構(gòu)物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構(gòu)區(qū)域；

異構(gòu)物理版圖同構(gòu)區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；

同構(gòu)物理版圖同構(gòu)區(qū)域間物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；

輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖數(shù)據(jù)。

本發(fā)明通過利用計算復(fù)用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量，有效地提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率，大幅提升了處理大規(guī)模物理版圖數(shù)據(jù)的速度，解決了現(xiàn)有技術(shù)處理大規(guī)模的物理版圖數(shù)據(jù)需要很長時間，速度較慢的問題。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例提供的物理版圖分割的方法的實現(xiàn)流程圖；

圖2是本發(fā)明實施例提供的確定同構(gòu)子電路的方法的流程圖；

圖3是本發(fā)明實施例提供的確定同構(gòu)子電路物理版圖中的同構(gòu)物理版圖的方法的流程圖；

圖4是本發(fā)明實施例提供的將同構(gòu)物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構(gòu)區(qū)域的方法的實現(xiàn)流程圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明實施例通過利用計算復(fù)用減小物理版圖數(shù)據(jù)二次成形光刻分割時的計算工作量，有效地提高了面向二次成形光刻分割處理物理版圖數(shù)據(jù)的效率。

本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，一種物理版圖分割的方法，所述方法包括以下步驟：

讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；

根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構(gòu)子電路；

利用電路和版圖一致性檢查技術(shù)確定所述同構(gòu)子電路的物理版圖；

確定所述同構(gòu)子電路物理版圖中的同構(gòu)物理版圖；

將所述同構(gòu)物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構(gòu)區(qū)域；

異構(gòu)所述物理版圖同構(gòu)區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；

同構(gòu)所述物理版圖同構(gòu)區(qū)域間所述物理版圖數(shù)據(jù)分割的映射；

輸出系統(tǒng)級芯片分割之后的物理版圖數(shù)據(jù)。

以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明作具體詳述如下：

實施例：

圖1示出了本發(fā)明實施例提供的物理版圖分割的方法的實現(xiàn)流程，詳述如下：

在步驟S101中，讀入電路網(wǎng)表和物理版圖；

在步驟S102中，根據(jù)讀入的電路網(wǎng)表進行電路分析，確定同構(gòu)子電路；

在步驟S103中，利用電路和版圖一致性檢查技術(shù)確定同構(gòu)子電路的物理版圖；

在步驟S104中，確定同構(gòu)子電路物理版圖中的同構(gòu)物理版圖；

在步驟S105中，將同構(gòu)物理版圖之外的物理版圖劃分為不同區(qū)域，確定物理版圖同構(gòu)區(qū)域；

在步驟S106中，異構(gòu)物理版圖同構(gòu)區(qū)域物理版圖數(shù)據(jù)分割的計算；