[發明專利]一種三壓電懸臂梁驅動的MEMS微鏡及其制作方法

無效

• 申請號: 201010229832.2
• 申請日: 2010-07-19
• 公開（公告）號: CN101937128A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 曹茂盛;趙全亮;袁杰
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81C1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種三壓電懸臂梁驅動的MEMS微鏡，其特征在于包括：一個微反射鏡面(4)、三個壓電懸臂梁、三個弓形彎曲彈性窄梁(3)，壓電懸臂梁由硅懸臂梁(1)表面固定厚度大于2μm的PZT驅動膜(2)組成，三個壓電懸臂梁分別通過三個弓形彎曲彈性窄梁(3)與微反射鏡面(4)連接，三個壓電懸臂梁與微反射鏡面(4)均在同一平面內，且壓電懸臂梁兩兩之間呈120°夾角分布。

2.一種三壓電懸臂梁驅動的MEMS微鏡的制作方法，其特征在于具體步驟如下：

1)運用溶膠-凝膠法在具有圖形化電極的Pt/Cr/SiO₂/Si基片上制備厚度大于2μm的PZT壓電厚膜，并經過濕法刻蝕技術完成PZT厚膜的圖形化工藝，形成三個壓電懸臂梁圖形；

2)利用濺射和剝離工藝在PZT基壓電厚膜表面制作Au/Cr雙層金屬上電極和微反射鏡面圖形；

3)利用干法刻蝕技術分別在正面和背面刻蝕Si基片，形成三壓電懸臂梁驅動的MEMS微鏡。