[發明專利]化學機械研磨裝置以及化學機械研磨方法無效
| 申請號： | 201010229401.6 | 申請日： | 2010-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN102335868A | 公開（公告）日： | 2012-02-01 |
| 發明（設計）人： | 唐強 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 20120*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 化學 機械 研磨 裝置 以及 方法 | ||
1.一種化學機械研磨裝置，包括：
研磨平臺；
驅動裝置，與所述研磨平臺連接，用于驅動所述研磨平臺旋轉；
傳感器，與所述研磨平臺連接，用于測量所述研磨平臺的轉速并將所述轉速轉換為轉速信號；
控制器，與所述傳感器連接，用于接收所述傳感器輸出的轉速信號并根據所述轉速信號輸出報警信號，以啟動報警裝置報警。
2.如權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述研磨平臺包括平臺主體以及與所述平臺主體連接的轉軸，所述傳感器與所述轉軸連接。
3.如權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述傳感器通過一接線頭與所述控制器連接。
4.如權利要求1至3中任意一項所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述傳感器為轉速傳感器。
5.如權利要求4所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括：驅動馬達、驅動滑輪以及驅動皮帶，所述驅動滑輪與所述驅動馬達固定連接，所述驅動皮帶纏繞在所述驅動滑輪以及研磨平臺上。
6.一種化學機械研磨方法，包括：
利用驅動裝置驅動研磨平臺旋轉；
利用傳感器測量所述研磨平臺的轉速并將所述轉速轉換為轉速信號；
利用控制器接收所述傳感器輸出的轉速信號；
所述控制器根據所述轉速信號輸出報警信號，以啟動報警裝置報警。
7.如權利要求6所述的化學機械研磨方法，其特征在于，所述研磨平臺包括平臺主體以及與所述平臺主體連接的轉軸，所述傳感器與所述轉軸連接。
8.如權利要求6所述的化學機械研磨方法，其特征在于，所述傳感器通過一接線頭與所述控制器連接。
9.如權利要求6至8中任意一項所述的化學機械研磨方法，其特征在于，所述傳感器為轉速傳感器。
10.如權利要求9所述的化學機械研磨方法，其特征在于，所述驅動裝置包括：驅動馬達、驅動滑輪以及驅動皮帶，所述驅動滑輪與所述驅動馬達固定連接，所述驅動皮帶纏繞在所述驅動滑輪以及研磨平臺上。
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